測量原理與技術(shù)融合:
皮拉尼傳感器:
PCG550采用了皮拉尼(或譯為派藍(lán)尼)熱傳導(dǎo)式真空計原理。在這種技術(shù)中,一個加熱元件(通常為電阻絲)維持在一個恒定的溫度差上,通過測量其與周圍環(huán)境氣體之間的熱能交換來確定氣體壓力。氣體壓力越低,其熱導(dǎo)率越低,電阻絲需要消耗更多的能量以維持設(shè)定的溫差,因此,通過監(jiān)測加熱元件的功率消耗(或等效的電信號),即可推算出相應(yīng)的真空度。
皮拉尼傳感器適用于中低真空范圍,如從大氣壓至約10^-3 mbar(或1 Torr)的壓力區(qū)間。
電容膜片傳感器:
同時,PCG550還配備了INFICON陶瓷電容膜片傳感器(CDG技術(shù))。這種傳感器利用薄膜材料在不同真空環(huán)境下產(chǎn)生的微小形變來改變電容值,從而實現(xiàn)對高真空度的精確測量。
電容膜片傳感器具有良好的線性度、長期穩(wěn)定性以及對多種氣體類型的廣泛適用性,尤其適用于高真空低真空范圍,例如從約10-3 mbar至低于10-9 mbar的壓力區(qū)間。
優(yōu)勢與特點:
寬量程覆蓋:由于結(jié)合了皮拉尼和電容膜片兩種傳感器,PCG550能夠在單一設(shè)備內(nèi)實現(xiàn)寬廣的真空度測量范圍,從接近大氣壓直高真空,無需更換或外接其他儀器,大大簡化了真空系統(tǒng)的配置和操作。
氣體類型無關(guān)性:電容膜片傳感器獨立于氣體類型,對不同氣體混合物具有良好的通用性,無需進(jìn)行特定氣體的校準(zhǔn),適應(yīng)于多種工業(yè)應(yīng)用和科研環(huán)境。
高精度與穩(wěn)定性:INFICON的皮拉尼和電容膜片技術(shù)均以其高精度和長期穩(wěn)定性著稱,確保了PCG550在各種工作條件下都能提供可靠且精確的壓力讀數(shù)。
智能化設(shè)計:作為一款現(xiàn)代真空計,PCG550可能配備數(shù)字接口(如RS-232、RS-485、Ethernet等)、可編程功能、以及與自動化控制系統(tǒng)集成的能力,便于數(shù)據(jù)記錄、遠(yuǎn)程監(jiān)控和系統(tǒng)集成。
工業(yè)級品質(zhì):作為德國制造的產(chǎn)品,PCG550遵循嚴(yán)格的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn),具備出色的耐用性和抗干擾性能,適用于嚴(yán)苛的工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
應(yīng)用領(lǐng)域:
PCG550皮拉尼電容膜片真空計廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、鍍膜工藝、科學(xué)研究、真空爐、檢漏系統(tǒng)、航空航天、以及其它需要精確真空控制的工業(yè)和實驗室場合。
總結(jié)來說,德國INFICON PCG550皮拉尼電容膜片真空計是一款融合了兩種真空測量技術(shù)的設(shè)備,憑借其寬量程、高精度、氣體類型無關(guān)性及工業(yè)級品質(zhì),成為中高真空環(huán)境測量的理想選擇。