◆Mini LED分選設(shè)備系統(tǒng)（豎立式)
特點(diǎn)︰
·Mini LED晶粒分選單粒轉(zhuǎn)移系統(tǒng);
·高精度運(yùn)動控制;
·Wafer上下料，自動對位;
·多功能夾具，支持多種尺寸wafer ;
·多儀器搭載，支持轉(zhuǎn)移后晶粒壞點(diǎn)修復(fù)。
| 項目 | 規(guī)格 |
| 尺寸 | 長*寬*高: 1.3m~1.8m |
| 測試樣品大小 | ≥4mil *4mil |
| 光學(xué)系統(tǒng) | 解析度1282 *1026pixel (單色) 精度±1/4 pixel |
| 反應(yīng)時間 | 120ms |
| 運(yùn)動系統(tǒng) | 采用高精度伺服電機(jī),高精度滾珠螺桿,微米級 |
| 良率、精度 | 1.掃描判別率?99.98% (扣除外觀不良) 2.挑撿良率?99.98% (扣除排列不整) 3.重復(fù)性排列精度土5um |
| Bin | Bin端排檢數(shù)量可自行設(shè)定,分選相同bin張數(shù)可任意設(shè)定,單張被分選數(shù)可 設(shè)定; Bin容量可定制 |
| 校正系統(tǒng) | 校正后,Bin端99. 9%分選固晶精度以十字標(biāo)為基準(zhǔn)st10um |
| 軟件 | 特儀自主開發(fā)之軟件,全中文版,C#編程模塊化, 操作簡單,U界面可依據(jù)客 戶需求進(jìn)行定制,軟件自帶各標(biāo)準(zhǔn)測試手法,可以通過直接調(diào)用模式進(jìn)行測試 |
