玻璃真空吸盤，可定制玻璃內(nèi)部管道
圖1 晶圓真空吸盤
玻璃真空吸盤（Vacuum Chunk）特別適用于晶元半導(dǎo)體行業(yè)，其又被稱為晶元吸盤、零膨脹玻璃真空吸盤、定制真空吸盤或晶元真空吸盤。這種新型晶元吸盤主要應(yīng)用在晶元設(shè)備上，通過在零膨脹玻璃吸盤內(nèi)部挖出通孔，當吸盤通孔內(nèi)的空氣被真空泵抽走時，內(nèi)部形成真空狀態(tài)，吸盤唇和被吸附的物體表面之間的壓強變大，從而產(chǎn)生吸力，即利用內(nèi)外壓強差吸附在物體表面上。
該定制真空吸盤使用零膨脹玻璃，這種材質(zhì)是一種具備特殊性能的玻璃，高穩(wěn)定性、高尺寸穩(wěn)定性、低導(dǎo)熱率以及高耐腐蝕性的是它的主要優(yōu)勢，但它同時會比傳統(tǒng)玻璃的造價高昂，工藝水平的要求則要更為。
我們具有強大的光學(xué)加工能力，能提供定制玻璃真空吸盤，定制晶元真空吸盤或晶圓真空吸盤，包括玻璃的形狀尺寸、吸嘴的位置、內(nèi)部管道的走向，同事具備批量化的加工能力，滿足用戶的各類應(yīng)用需求。
