擴散爐熱電偶
半導(dǎo)體專用測溫儀表擴散爐熱電偶分為：多晶鑄錠爐熱偶、擴散爐專用熱電偶、鑄錠爐熱電偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多點式擴散爐熱電偶等，各種產(chǎn)品形態(tài)不一，大小與結(jié)構(gòu)也盡不相同。做為高精度擴散爐熱電偶來說，為各大光伏產(chǎn)業(yè)帶來了許多幫助。該產(chǎn)品為了生產(chǎn)加工PECVD的隔離導(dǎo)電性，外表的絕緣采用透明高純度石英管或高純度99%剛玉管制造而成，采用多個點位精確測量，也有用戶采用多點測量法計算出爐內(nèi)的平均值從而獲得應(yīng)有的數(shù)據(jù)。
溫度測量在0~1800℃中使用，測量點分為單點和多點，點可達8個點的測量，精度符合國際標(biāo)準(zhǔn)，工業(yè)等級I級，1500度誤差2℃不到，精度相當(dāng)高，代替進口產(chǎn)品。擴散爐熱電偶用于光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體的開發(fā)與研制、科研領(lǐng)域、單位、進口設(shè)備（如：Centrotherm擴散爐設(shè)備、ALD真空感應(yīng)爐、GT Solar 的 DSS 爐等）、燒結(jié)爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐等，可溶化多晶硅、生長多晶硅錠、單晶硅、非晶硅、無定形硅和玻璃等工藝測溫。
技術(shù)參數(shù)：
1、符合IEC584 GB/T18404-2001標(biāo)準(zhǔn)
2、精度等級：CLASS-A:0.25% ；CLASS-B:0.5%
3、Spike TC是用來測量與控制爐管外的各點溫度
4、profile TC與Paddle TC是用來測量與控制爐管內(nèi)各點溫度
5、與spike和profile配套使用，可自動切換方式進行控溫
6、壽命長、精度高、穩(wěn)定性好、交貨期短、可代替進口
7、擴散爐熱電偶總長含頭1750mm。（5點長：1700、1530、1200、870、700）
擴散爐熱電偶產(chǎn)品選型：
擴散爐爐外熱電偶（可帶螺紋、法蘭、裸露式）：
| NAME | Spike TC (group ：1、2) | |||
| TYPE | SKFN-Spike TC | SKFN-Spike TC | SKFN-Spike TC | SKFN-Spike TC |
| GRADUATION | B-type | S-type | R-type | K-type |
| QUALITY | 剛玉管、陶瓷管、石英管、鉬管 | |||
| SPEC | Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0 mm | |||
| RANGE | 0~1800℃ | 0~1600℃ | 0~1600℃ | 0~1300℃ |
| SENSITIVITY | 5s≤ | 5s≤ | 8s≤ | 10s≤ |
| THERMAL ERROR | 1.0℃ | 1.2℃ | 1.5℃ | 2.0℃ |
| USE | 真空爐、氧化爐、擴散爐 | |||
| FIRM NAME | 鉑銠熱電偶、擴散爐熱電偶、專用熱電偶 | |||
擴散爐爐內(nèi)熱電偶（爐內(nèi)、爐外）：
| NAME | profile TC (point ：1、3、5、8） | |||
| TYPE | SKFN-profile TC1、SKFN-profile TC3、SKFN-profile TC5、SKFN-profile TC8 | |||
| GRADUATION | B-type | S-type | R-type | K-type |
| QUALITY | 剛玉管、陶瓷管、石英管、鉬管、鎢管 | |||
| SPEC | Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm | |||
| RANGE | 0~1800℃ | 0~1600℃ | 0~1600℃ | 0~1300℃ |
| SENSITIVITY | 5s≤ | 5s≤ | 8s≤ | 10s≤ |
| THERMAL ERROR | 1.0℃ | 1.2℃ | 1.5℃ | 2.0℃ |
| USE | 燒結(jié)爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐 | |||
| FIRM NAME | 石英熱電偶、多點熱電偶、擴散爐熱電偶、貴金屬鉑銠熱電偶 | |||
擴散爐爐內(nèi)外熱電偶（鎧裝式、爐內(nèi)、爐外、可彎曲）：
| NAME | Paddle Tc | |||
| TYPE | SKFN-Paddle Tc | |||
| GRADUATION | B-type | S-type | R-type | K-type |
| QUALITY | GH3039、GH3030 | |||
| SPEC | Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm | |||
| RANGE | 0~1300℃ | |||
| SENSITIVITY | 5s≤ | 5s≤ | 5s≤ | 6s≤ |
| THERMAL ERROR | 1.0℃ | 1.2℃ | 1.5℃ | 2.0℃ |
| USE | 真空爐、氧化爐、擴散爐 | |||
| FIRM NAME | 鎧裝鉑銠熱電偶、擴散爐熱電偶、微細鎧裝鉑銠熱電偶 | |||
