產(chǎn)品簡介
橢偏儀是一種利用光的偏振態(tài)變化來進行薄膜性質(zhì)表征的儀器,主要用來測量薄膜材料的厚度、NK參數(shù)等性質(zhì)。橢偏儀的主要原理是將自然光(紫外光、可見光以及紅外光)變成偏振光后通過一定角度入射到樣品上,偏振光進入樣品介質(zhì)后會反射回到橢偏儀檢偏器內(nèi),由于樣品介質(zhì)會對偏振光的偏振態(tài)發(fā)生改變,而這種改變會被橢偏儀測量,橢偏儀就是利用這個介質(zhì)對偏振光性質(zhì)改變的原理來表征介質(zhì)的性質(zhì)的
SE500型號采用雙光譜儀耦合實現(xiàn)250-1700nm超長波段的探測,可實現(xiàn)對材料紫外、可見和紅外波段的全覆蓋測量研究,同時可搭配自動平臺掃描、自動變角、微光斑探測以及平臺加熱等功能滿足不同應用需求。
產(chǎn)品相冊
設備配置
探測器:陣列探測器,
光源:高功率的DUV-Vis-NIR復合光源
軟件:TFProbe 3.3版本的軟件
入射角度變化:手動調(diào)節(jié)
測量種類:薄膜厚度、折射率和消光系數(shù)以及多層膜堆疊
計算機:Intel雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器
電源:110–240V AC/50-60Hz,6A
保質(zhì)期
保修:一年的整機及零部件保修
技術參數(shù)
波長范圍:250nm到1700 nm
光斑尺寸:1mm至5mm可變
樣品尺寸:直徑可達200mm
測量厚度范圍*:〜30μm
測量時間:約1/位置點
入射角范圍:20到90度,5度間隔
重復性誤差*:小于1 Ǻ