真空閘閥、真空旋板閥、真空角閥、真空比例閥及控制器的研發(fā)是專門針對國內(nèi)半導(dǎo)體、太陽能光伏材料生產(chǎn)設(shè)備的真空壓力控制開發(fā)。目前已應(yīng)用在單晶爐、碳化硅爐、藍寶石爐等設(shè)備上，實現(xiàn)了進口產(chǎn)品的國產(chǎn)替代。
真空閘閥、真空旋板閥、真空角閥、真空比例閥及控制器的研發(fā)是專門針對國內(nèi)半導(dǎo)體、太陽能光伏材料生產(chǎn)設(shè)備的真空壓力控制開發(fā)。目前已應(yīng)用在單晶爐、碳化硅爐、藍寶石爐等設(shè)備上，實現(xiàn)了進口產(chǎn)品的國產(chǎn)替代。
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