評(píng)定參數(shù) | |
評(píng)定參數(shù) | Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
測(cè)量范圍 | |
Z軸 | 800μm |
X軸 | 50mm |
直線度精度 | |
直線度精度 | 0.4μm |
分辨率(Z軸) | |
分辨率(Z軸) | 0.001μm |
采樣數(shù)/分解能 | |
采樣數(shù)/分解能 | 9600點(diǎn)/16bit |
濾波器 | |
濾波器 | 高斯(Gaussian)濾波器(ISO11562:1996),2RC濾波器 |
取樣長度 | |
取樣長度 | λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm) |
截止波長 | |
截止波長 | 0.25,0.8,2.5 |
測(cè)量速度 | |
測(cè)量速度 | 0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s |
返回速度 | |
返回速度 | (自動(dòng)) 1mm/s |
示值誤差 | |
示值誤差 | ±5% |
示值穩(wěn)定性 | |
示值穩(wěn)定性 | 3% |
測(cè)量重復(fù)性 | |
測(cè)量重復(fù)性 | 3% |
圖形放大倍率 | |
圖形放大倍率 | 10-500000自動(dòng)調(diào)整 |
傳感器 | |
傳感器 | 針尖 R=2μm鉆石(測(cè)量力1mN) |
R=5μm鉆石(測(cè)量力4mN) |