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  • 硅晶圓膜厚測(cè)量?jī)x SIT-200

硅晶圓膜厚測(cè)量?jī)x SIT-200

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2024-02-05
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量807
  • 人氣值2067
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北京波威科技有限公司坐落于北京海淀中關(guān)村高科技園區(qū),是一家集生產(chǎn)、研發(fā)、銷售及代理為一體的光電領(lǐng)域的高科技技術(shù)服務(wù)公司。 產(chǎn)品涉及激光、光電子、光通訊、光學(xué)、物理、電子和生物等多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域,可廣泛應(yīng)用于教學(xué)、科研、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)及規(guī)模生產(chǎn)。業(yè)務(wù)范圍覆蓋了國(guó)內(nèi)各大高校、所屬各研究所、航天科工/科技集團(tuán)所屬研究所、中電集團(tuán)所屬研究所、所屬各研究所等不同系統(tǒng)內(nèi)的研究機(jī)構(gòu)及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)的高科技公司。 波威公司始終堅(jiān)持高起點(diǎn),高要求,與國(guó)際一線生產(chǎn)廠商攜手,做到產(chǎn)品在技術(shù)上同行,秉承嚴(yán)謹(jǐn)?shù)目茖W(xué)態(tài)度,務(wù)實(shí)的工作作風(fēng),誠(chéng)實(shí)的經(jīng)營(yíng)理念,與廣大客戶攜手共創(chuàng)美好明天! 我們的產(chǎn)品有:固體激光器、半導(dǎo)體激光器、可調(diào)諧激光器、光纖激光器、窄線寬激光器、激光測(cè)量?jī)x器與配件、太赫茲、高速光電探測(cè)器、紫外探測(cè)器、紅外探測(cè)器、超快探測(cè)器、焦平面陣列探測(cè)器、科學(xué)相機(jī)、光譜儀、高光譜成像系統(tǒng)、光束質(zhì)量分析儀、空間光調(diào)制器、聲光調(diào)制器、電光調(diào)制器、高速光開(kāi)關(guān)、光發(fā)大器、光衰減器、可調(diào)諧濾波器、波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換器、高溫光纖、紅外光纖、能量光纖、微波放大器、微波元器件、光學(xué)透鏡等光電類產(chǎn)品。
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產(chǎn)品介紹:SIT-200 硅晶圓檢測(cè)儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器,利用干涉計(jì)量的方法設(shè)計(jì)制造的用于硅晶圓厚度檢測(cè)的干涉儀。與常規(guī)測(cè)厚采用寬帶光源不同,可調(diào)諧激光器具備很高的功率譜密度,從而提高了測(cè)量的動(dòng)態(tài)范圍,因此,SIT-200 支持非拋光的晶圓測(cè)量,例如在濕刻過(guò)程中以及濕刻之后的晶圓。產(chǎn)品特點(diǎn):l 全光學(xué),非接觸式晶圓厚度傳感l(wèi) 高動(dòng)態(tài)范圍,可測(cè)量不規(guī)則表面l 支持
硅晶圓膜厚測(cè)量?jī)x SIT-200 產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品介紹:

SIT-200 硅晶圓檢測(cè)儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器,利用干涉計(jì)量的方法設(shè)計(jì)制造的用于硅晶圓厚度檢測(cè)的干涉儀。與常規(guī)測(cè)厚采用寬帶光源不同,可調(diào)諧激光器具備很高的功率譜密度,從而提高了測(cè)量的動(dòng)態(tài)范圍,因此,SIT-200 支持非拋光的晶圓測(cè)量,例如在濕刻過(guò)程中以及濕刻之后的晶圓。

產(chǎn)品特點(diǎn):

l  全光學(xué),非接觸式晶圓厚度傳感

l  高動(dòng)態(tài)范圍,可測(cè)量不規(guī)則表面

l  支持濕刻制程中實(shí)時(shí)測(cè)量

l  高靈敏度、高準(zhǔn)確度、高速度

l  遠(yuǎn)程控制

產(chǎn)品參數(shù):

測(cè)樣品

硅晶圓


可測(cè)厚度范圍

10 - 500 (n=3.5)

 m

精密可調(diào)諧激光

1515 - 1585

nm

光功率

0.6

mW

指引光

紅色,Class 1M


測(cè)量時(shí)間

最短 20

ms

可重復(fù)性

<0.1 (3-σ)

 m

監(jiān)控輸出

干涉信號(hào)輸出


PC 界面

Ethernet


精密掃頻激光光源以高速度調(diào)諧激光波長(zhǎng)。樣品前、后表面反射的激光的干涉信號(hào)經(jīng)過(guò)PD 探測(cè)后,根據(jù)波長(zhǎng)- 干涉信號(hào)強(qiáng)度的關(guān)系即可得到晶圓厚度。

北京波威科技有限公司

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