CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
【產(chǎn)品型號(hào)】MFLCVD406-12
【石英管徑】50/60/80/100/120/150mm
【額定溫度】1200℃/1400℃/1700℃
【電源電壓】AC220V/50Hz
【控溫精度】±1℃
一、產(chǎn)品描述
CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1.一體式設(shè)計(jì)優(yōu)化爐體結(jié)構(gòu)，節(jié)約空間
2.爐膛材料選用多晶莫來(lái)纖維材料，高溫不變形、保溫性能佳
3.雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，外殼溫度在室溫+10℃
4.智能PID控制儀表，30段可編程程序，可曲線升溫并設(shè)定溫度速率，恒溫時(shí)間控制，自動(dòng)停機(jī)等
5.控溫精度高，自測(cè)1000度以?xún)?nèi)的精度±0.1℃；1000度以上±1℃
6.具有開(kāi)門(mén)斷電 超溫報(bào)警 漏電保護(hù) 過(guò)溫保護(hù)
7.可選配大屏幕無(wú)紙記錄儀，實(shí)現(xiàn)對(duì)升溫曲線的實(shí)時(shí)記錄，并帶有存儲(chǔ)卡可對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和打印
技術(shù)參數(shù)：
設(shè)備型號(hào) | MFLCVD406-12 | |
性能 | 控溫范圍 | 室溫-1200℃ |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 400mm | |
控溫精度 | ＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃ | |
恒溫波動(dòng) | ±1℃（測(cè)試點(diǎn)為1000℃） | |
溫度均衡 | ±3℃（測(cè)試點(diǎn)為1000℃） | |
升溫速度 | 推薦1000度以下≤10℃/min，升溫速度≤30℃/min | |
降溫速度 | 700℃以上≤10℃/min | |
爐表溫度 | 爐體表面溫度小于室溫+10（測(cè)量點(diǎn)為1000℃） | |
構(gòu)成 | 外裝 | 冷軋鋼板，表面耐藥性涂裝 |
爐體 | 陶瓷纖維 | |
傳感器 | 1200度K型熱電偶 | |
加熱元件 | HDR優(yōu)質(zhì)電阻合金絲 | |
冷卻風(fēng)葉 | 軸流風(fēng)扇 | |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有風(fēng)冷系統(tǒng) | |
控制器 | 控制方式 | PID控制 |
設(shè)定表示 | 數(shù)字設(shè)定/數(shù)字顯示 | |
超溫保護(hù) | 控制器一體型 | |
超溫設(shè)定 | 數(shù)字設(shè)定 | |
運(yùn)行功能 | 定制運(yùn)行/程序運(yùn)行（30段程序控溫） | |
附加功能 | 偏差修正、停電補(bǔ)償、鎖鍵功能 | |
定時(shí)器 | 1分-99小時(shí)59分以及999小時(shí)50分?jǐn)?shù)字設(shè)定、自動(dòng)運(yùn)行、快速自動(dòng)停止 | |
真空系統(tǒng) | 真空度 | 1.選配機(jī)械泵可達(dá)真空 10的-2次pa
2.選配我司高真空系統(tǒng)（機(jī)械泵+分子泵組合），可達(dá)1.33*10的-4次方pa（空爐狀態(tài)）
|
隔熱管堵 | 2只，氧化鋁材料 | |
爐管 | 石英管（直徑60mm*長(zhǎng)1000mm) | |
真空法欄 | 不銹鋼真空法蘭 | |
壓力表 | -0.1至0.15mpa | |
供氣系統(tǒng) | 質(zhì)子流質(zhì)計(jì) | 量程和氣體：5-500SCCM、1-10SLM （可以任意選擇以上量程和所通氣體的類(lèi)型） 流量控制精度 ±1.0%F.S |
路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | |
接頭類(lèi)型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | |
壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |
安全 | 工作環(huán)境 | RT±5-40℃ |
使用保障 | 開(kāi)門(mén)斷電 超溫報(bào)警 漏電保護(hù) 過(guò)溫保護(hù) | |
規(guī)格 | 爐體結(jié)構(gòu) | 臥式 |
爐管尺寸 | Φ60mm | |
電源電壓 | 220V50HZ | |
輸入功率 | 4KW | |
出廠清單 | 管式爐 | 一臺(tái) |
| 真空系統(tǒng) | 一套 | |
供氣系統(tǒng) | 一套 | |
高溫手套 | 卡斯頓一雙 | |
爐勾 | 一把 | |
氣管 | 一根 | |
設(shè)備說(shuō)明書(shū) | 一份 | |
儀表說(shuō)明書(shū) | 一份 | |
保修卡 | 一份 | |
選購(gòu)品 | 移動(dòng)爐架 | 不銹鋼 |
觸摸屏智能儀表 | 50段編程，可實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)連接。通過(guò)專(zhuān)用的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)來(lái)完成與單臺(tái)或多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能。 | |
注：管徑可選：50/60/80/100/120/150/200/300 mm ,
溫區(qū)可以做雙溫區(qū)，三溫區(qū)等多溫區(qū)，
請(qǐng)聯(lián)系客服
標(biāo)配清單：
| 出廠清單 | 管式爐 | 一臺(tái) |
| 真空系統(tǒng) | 一套 | |
| 供氣系統(tǒng) | 一套 | |
| 高溫手套 | 卡斯頓一雙 | |
| 爐勾 | 一把 | |
| 氣管 | 一根 | |
| 設(shè)備說(shuō)明書(shū) | 一份 | |
| 儀表說(shuō)明書(shū) | 一份 | |
| 保修卡 | 一份 |
可選配：
移動(dòng)爐架 | 整體不銹鋼 |
7英寸觸摸屏儀表 | 50段編程， 大屏幕無(wú)紙記錄儀，實(shí)現(xiàn)對(duì)升溫曲線的實(shí)時(shí)記錄，并帶有存儲(chǔ)卡可對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和打印
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一、售后服務(wù)
：一年保修，終身技術(shù)支持。（特別提示，耗材部分如加熱元件、樣品坩堝等不在保修范圍內(nèi)因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)）
二、注意事項(xiàng)
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
