EX-FLOW
氣體質(zhì)量流量計/控制器
可處理流量范圍(以空氣為基礎(chǔ)介質(zhì))
質(zhì)量流量計 (MFM) | 量程 | 過程連接形式 |
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系列 F-110CX | min. 0.16 … 8 mln/min max. 0.2 … 10 mln/min | 成對的卡套連接 |
系列 F-111BX | min. 0.2 … 10 mln/min max. 0.4 … 20 ln/min | 成對的卡套連接 |
系列 F-111AX | min. 0.1 … 5 ln/min max. 2 … 100 ln/min | 成對的卡套連接 |
系列 F-112AX | min. 0.2 … 10 ln/min max. 5 … 250 ln/min | 成對的卡套連接 |
系列 F-113AX | min. 2 … 100 ln/min max. 25 … 1250 ln/min | 成對的卡套連接 |
系列 F-116AX/BX | min. 0.4 … 20 m3n/h max. 10 … 500 m3n/h | 成對的卡套連接 |
系列 F-106AX/…/GX | min. 0.4 … 20 m3n/h max. 220 … 11000 m3n/h | 對夾式連接 |
系列 F-107AX/…/DX | min. 0.4 … 20 m3n/h max. 36 … 1800 m3n/h | 法蘭連接 (DIN 或者 ANSI) |
質(zhì)量流量控制器 (MFC) | 量程 |
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系列 F-200CX 1) | min. 0.2 … 10 mln/min max. 0.2 … 10 mln/min |
系列 F-201CX 1) | min. 0.22 … 11 mln/min max. 0.4 … 20 ln/min |
系列 F-201AX 1) | min. 0.1 … 5 ln/min max. 2 … 100 ln/min |
系列 F-202AX 2) | min. 0.2 … 10 ln/min max. 5 … 250 ln/min |
系列 F-203AX 2) | min. 2 … 100 ln/min max. 25 … 1250 ln/min |
系列 F-206AX/BX 2) | min. 0.4 … 20 m3n/h max. 7.5 … 375 m3n/h |
系列 F-230MX/ F-231MX/F-232MX 3) | min. 0.2 … 10 mln/min max. 2 … 100 ln/min |