江蘇朗高精密儀器有限公司
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公司座機(jī):0517-
概要
品牌朗高找熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)品牌作為增加生產(chǎn)的因素、制造設(shè)備的小型化等正日益受到關(guān)注。這些要求對(duì)氣體供給系統(tǒng),也就是被稱(chēng)為關(guān)鍵設(shè)備的質(zhì)量流量計(jì)來(lái)說(shuō)有很緊密的聯(lián)系。而批量使用搭載了在成本表現(xiàn)方面好的電磁閥的質(zhì)量流量計(jì),則可符合制程要求。
特征
采用金屬避風(fēng)墊圈
可對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體
搭載異常報(bào)警功能
警報(bào)輸出功能為其標(biāo)準(zhǔn)搭載
規(guī)格
品牌朗高找熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)品牌
氣體連接部材質(zhì):SUS-316L,Teflon
磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式:非通電時(shí),閉標(biāo)準(zhǔn)
流量范圍:5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
流量控制范圍:百分之二以上的FS(全量程)
流量精度:正負(fù)百分之一的FS(全量程)
SEC-E450J
氣體連接部材質(zhì):SUS-316L,Teflon
磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式:非通電時(shí),閉標(biāo)準(zhǔn)
流量范圍:20/30 SLM
流量控制范圍:百分之二以上的FS(全量程)
流量精度:正負(fù)百分之一的FS(全量程)