詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
| TL1700-1400管式爐
| 型號 | TL1700-1400-C-I | TL1700-1400-C-III |
| 功率 | 8KW | 12KW | |
| 爐管尺寸 | Dia 60(OD) X1250mm | Dia 100(OD) X1250mm | |
| 外形尺（LXDXH） | 1300X500X800 | 1300X550X850 | |
| 電源電壓 | 220V /380V | ||
| 相數(shù) | 單相 | ||
| 加熱元件 | 溫區(qū)一： 1800型硅鉬棒 溫區(qū)二：硅碳棒 | ||
| 控制方式
| 采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、50段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1720度或熱電偶燒斷時， 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購）
FP93控溫儀表 歐陸儀表 觸摸屏儀表 （日本島電） | ||
| 控溫模式 | 智能PID | ||
| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||
| 過溫保護(hù) | 有 | ||
| 過流保護(hù) | 有 | ||
| 控制精度 | +/- 1 ℃ | ||
| 觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) | ||
| 電器 | 浙江正泰 | ||
| 可控硅 | 106/16E 德國西門康 | ||
| 溫度 | 溫區(qū)一：1700 ℃ 溫區(qū)二：1400 ℃ | ||
| 額定溫度 | 溫區(qū)一：1600 ℃ 溫區(qū)二：1350 ℃ | ||
| 升溫速率 | ≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） | ||
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/ Min | ||
| 熱電偶型號 | 溫區(qū)一：B 型 溫區(qū)二：S型 | ||
| 加熱段長度 | 溫區(qū)一：300mm 溫區(qū)二：260 mm | ||
| 電器認(rèn)證 |
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| 四周表面溫度 | ≤45℃ | ||
| 閥門和法蘭
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GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
| 質(zhì)量流量計
| 量程和氣體 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） |
| 耐壓 | 3MP | ||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
| 工作（使用）壓力 | 0.3MPa | ||
| 線性 | ±0.5%F.S. | ||
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S | ||
| 路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | ||
| 接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | ||
| 系統(tǒng)工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | ||
| 工作溫度 | 5-45℃ | ||
| 壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||
| 靜態(tài)混氣室 | Dia50 X 400MM | ||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | ||
| VS-0.1抽氣系統(tǒng)
方案一或方案二任選一個
| 電源 | 220V | |
| 尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | ||
| 波紋管 | KF25X1000mm | ||
| 用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) | 10 -1Pa | ||
| 真空擋板閥 | KF25 | ||
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VRD-8真空泵 方案一 | 型號 | VRD-8 | |
| 極限分壓強(qiáng) | 5X10-2 Pa | ||
| 進(jìn)排氣接口 | KF25 | ||
| 電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 1440RPM | ||
| 抽氣速率 | 2.2L/S | ||
| 電機(jī)功率 | 0.4KW | ||
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Preiffer ACP15無油多級羅茨泵 方案二 | 型號 | ACP15 | |
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | ||
| 功率 | 450W | ||
| 重量 | 25KG | ||
| 氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | ||
| 極限壓強(qiáng) | 0.02Torr | ||
| 進(jìn)、排氣接口 | KF25 | ||
| 電阻真空計 （方案一） | 型號 | ZDR-1 | |
| 功率 | 25W | ||
| 真空度測量范圍 | 0.1-10 5 Pa | ||
| 電阻硅 | ZJ-52T | ||
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瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空 （方案二）
| 型號 | PCG554 | |
| 輸入電壓 | 24V 1A DC（配有220V變壓器） | ||
| 真空計接口 | KF16 | ||
| 數(shù)字顯示 | 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr | ||
| 產(chǎn)品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | ||
| 重量 | 5 lbs | ||
| 檢測氣體 | 可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復(fù)性好。 | ||
| 是否防腐 | 防腐 | ||
| 響應(yīng)時間 | ≤30ms | ||
| 測量范圍 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | ||
| 分子泵機(jī)組（選購）
（方案一或方案二任選一個） | 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | |
| 波紋管 | KF40X1000 | ||
| 真空擋板閥 | KF40 | ||
| 機(jī)箱尺寸 | 600X600X600 | ||
| 分子泵
（方案一）
| 分子泵型號 | FJ620 | |
| 輸入電壓 | 380V | ||
| 分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | ||
| 分子泵抽氣速率L/S（對空氣） | 600 | ||
| 分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) | 6×10-7 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | ||
| 冷卻水溫度 | <25℃ | ||
| 環(huán)境溫度 | 0~40℃ | ||
| 建議啟東壓強(qiáng) | <100pa | ||
| 分子泵前級真空TRP-24 (FJ620分子泵必須要配此前級泵) （方案二）
| 功率 | 0.75KW | |
| 電壓 | 380V | ||
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||
| 進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | ||
| 前機(jī)泵抽氣速率（L/S） | 6 | ||
| 極限壓強(qiáng) | 4X10 -2Pa | ||
| 德國Pfeiffer真空泵（方案二）
| 電壓 | 220V | |
| 功率 | 110W | ||
| 抽氣接口 | KF40 | ||
| 重量 | 150KG | ||
| 前機(jī)泵抽速 | 0.9m 3/ h | ||
| 抽氣速率（N2） | 33L/S | ||
| 復(fù)合真空計
| 復(fù)合真空計型號 | ZDF | |
| 電源 | 220V 55W | ||
| 控制精度 | ± 1% | ||
| 真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||
保修期
一年保修，終身技術(shù)支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，爐管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)使用的爐管為剛玉管時，爐體溫度高于1500℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝
7.MoSi2加熱元件不得長時間在在低溫下(400℃-700℃)使用,否則將可能損壞加熱元件
CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+雙溫區(qū)管式爐+抽氣系統(tǒng)組成 ，溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統(tǒng)是由8路供氣系統(tǒng)+TL1700-1400雙溫區(qū)管式爐+真空系統(tǒng)組成
TL1700-1400 雙溫區(qū)管式爐:
這款管式爐以1800型硅鉬棒和硅碳棒為加熱元件，有兩個加熱區(qū)，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，每個加熱區(qū)能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端裝有不銹鋼法蘭，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達(dá)到10-3 Pa，該爐為臥式，兩個溫區(qū)可以獨(dú)立控制、設(shè)置不同的溫度，使用方便，操作簡單，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品.。
1、加熱元件
（1）、硅鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負(fù)荷低，使用壽命長。
（2）、采用的是熱彎技術(shù)，電阻均勻，使用壽命長
（3）、Lu冷端長度為210mm， 400X300X300爐子為260 ，一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。
（4）、硅鉬棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護(hù)硅鉬棒。
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出
4、爐膛
進(jìn)口爐膛 VS 國產(chǎn)爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4、該爐膛不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、觸發(fā)器
VS 
軟啟動限流觸發(fā)器 大部分廠家使用
的非限流廈門博特觸發(fā)器
1、移相觸發(fā)（帶軟啟動和限流功能）
2、限流功能：無論怎么樣設(shè)置升溫速率，我們電爐的二次電流始終被限制在170A以內(nèi)，有效的保護(hù)了設(shè)備。由于采用限流功能，高溫下可開爐門。如果您使用的電爐需要在升溫過程中對爐子的升溫速率進(jìn)行限制（例如：規(guī)定在1400℃后不得超過3℃/min等）即采用非限流觸發(fā)器。升溫速率設(shè)置錯誤或者升溫速率過快、這時電流會非常大，設(shè)備會跳閘或燒壞。
3、軟啟動功能：開機(jī)時電流會慢慢增大，對加熱元件的沖擊較小，有利于加熱元件壽命的延長
4、保護(hù)功能：如果電流超過限制電流、觸發(fā)器會自動切斷觸發(fā)功能以切斷電流保護(hù)電爐。
7、UL認(rèn)證變壓器
8、多款可供選擇的各種法蘭 （直徑從25到250mm）
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
9、底腳
10、氧化鋁爐塞
11、不銹鋼支撐架
12、認(rèn)證
TL1700-1400-CVD系統(tǒng)標(biāo)配
| 描敘 | 數(shù)量 | 圖片 |
| TL1700-1400管式爐 | 1 套 |
|
| 剛玉管 | 1根 |
|
| 不銹鋼法蘭 | 1 套 |
|
| 不銹鋼爐鉤 | 1 個 |
|
| 氧化鋁爐塞 | 2對 |
|
| 高溫手套 | 1 雙 |
|
| 氧化鋁坩堝 | 1 個 |
|
| Ｋ型熱電偶 | 1個 |  |
| 485轉(zhuǎn)換接口和軟件（選配） | 1 套 |
|
| 說明書 | 1本 | |
| 法蘭支撐架 | 1份 | |
| 供氣系統(tǒng) | 1臺 |  |
| 抽氣系統(tǒng) | 1臺 |  |
| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數(shù)） | N個 |  |
| 閥門接頭 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) | NX5 |  |
