YRVMS-CNC型全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x技術(shù)參數(shù):
儀器型號(hào) | YRVMS-3020CNC | YRVMS-4030CNC | YRVMS-5030CNC | |
工 | 金屬臺(tái)面尺寸(mm) | 506×356 | 606×466 | 700×450 |
玻璃臺(tái)面尺寸(mm) | 350×280 | 450×350 | 550×350 | |
運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 300×200 | 400×300 | 500×300 | |
儀器重量(kg) | 140 | 240 | 290 | |
外形尺寸(mm) | 770×590×1100 | 950×700×1100 | 970×670×940 | |
鏡頭 | 日本SONY CCD | |||
X、Y、Z數(shù)顯解析度 | 1μm | |||
X、Y坐標(biāo)示值誤差 | ≤(3+L/200)μm | |||
鏡頭 | 日本SONY CCD | |||
電機(jī) | 伺服電機(jī):日本 | |||
三軸運(yùn)動(dòng)速度:100mm/s | ||||
三軸定位精度:0.001mm | ||||
電源 | AC110V/220V | |||
消耗功率 | <100W(不包括電腦) |