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  • 迷你型CVD系統(tǒng)

迷你型CVD系統(tǒng)

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面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地合肥市
  • 更新時間2023-11-13
  • 廠商性質經銷商
  • 入駐年限7
  • 實名認證已認證
  • 產品數(shù)量296
  • 人氣值1931
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加熱區(qū)參數(shù)爐管尺寸:外徑25/50*600mm(管徑可選)加熱元件
迷你型CVD系統(tǒng) 產品詳情

加熱區(qū)參數(shù)

 爐管尺寸:外徑Φ25/50*600mm (管徑可選)

 加熱元件;電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)
 加熱區(qū)長度:230mm

 恒溫區(qū)長度;80mm

 工作溫度:1100℃
 溫度:1200℃
 控溫方式:模糊PID控制和自整定調節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能
 控溫精度;±1℃

 推薦升溫速度:20℃/min

 升溫速度:≤100℃/min

 爐門結構:開啟式
 工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

 額定功率:2KW

 外型尺寸:350×290×345 mm

 標準配件:石英管1根,不銹鋼密封法蘭1套,硅膠密封圈2套,氧化鋁管堵4只,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個。

 密封系統(tǒng):爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭),端口可按實際使用擴展。

氣路系統(tǒng)參數(shù)

 

 質量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm (量程可選)

 準確度:±1.5%

 線性:±0.5~1.5%

 重復精度:±0.2%

 響應時間:≤10sec

 工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

 壓力:3MPa

 接口:Φ6,1/4''

 顯示:4位數(shù)字顯示

 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

 內外雙拋不銹鋼管:Φ6

 壓力真空表;-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止閥:Φ6

 連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

 備注:可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。

低真空系統(tǒng)參數(shù)

 

 抽速:10m³/h

 極限真空度:5*10-1pa

 電源:220v 50hz

 電機功率:0.4kw  

 進排氣連接口:KF25

 用油量:1.1L

 電機轉速:1440rpm

 工作環(huán)境溫度:5-40℃

 噪音:≤56db

 電阻真空計參數(shù):

 1.配用規(guī)管: 電阻規(guī),

 2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

 3.測量路數(shù): 1路

 4.控制范圍: 5×103 ~5×10 -1 Pa,

 5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載,

 6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

 7.功耗: 20W

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