設(shè)備特點
此款CVD系統(tǒng)前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器，輔助二維材料蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)管式爐，溫度控制精確，操作簡便。并配質(zhì)量流量計系統(tǒng)和真空系統(tǒng)，可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力和氣體流量，對于做低壓CVD實驗非常實用，重復(fù)性好。
| 硫粉預(yù)熱器 | 工作溫度：400℃ 溫度：1200℃ 升溫速率：≤30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220V 額定功率：800W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲 |
| 加熱區(qū)參數(shù)
| 額定功率：5kw 溫度：1200℃ 工作溫度：1100℃ 升降溫速率：≤30℃/min 爐管尺寸：高純度石英管Φ25/Φ50/Φ60/Φ80/Φ100X1650mm (管徑可選) 加熱區(qū)長度：200+200mm 恒溫區(qū)長度：290mm 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。 標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管1支，莫來石管堵2對，不銹鋼法蘭1套，硅膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支； 尺寸：約 550×380×600 mm（爐子） 約：1700×380×620 mm（爐子+滑軌） 可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。 |
| 氣路系統(tǒng)參數(shù)
| 質(zhì)量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選） 準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時間：≤10 sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa，0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭 可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計 |
| 低真空系統(tǒng)參數(shù)
| 抽速：10m³/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220V 50HZ 電機功率：0.4kw 進排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機轉(zhuǎn)速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計參數(shù)： 1.配用規(guī)管：電阻規(guī) 2.測量范圍： 105 ～10-1Pa 3.測量路數(shù)： 1路 4.控制范圍： 5×103～5×10-1Pa， 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
| 使用注意事項 | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa |
