LP-IM200皮米級干涉位移傳感器特點:
(1)、皮米級分辨率(1 pm)
(2)、測量帶寬高達2.5 MHz (10 MHz采樣率)
(3)、可通過3個平行激光進行三維測量
(4)、可以測量大多數(shù)材料(塑料,玻璃,金屬,甚至水)
(5)、廣泛的傳感器頭可用于不同的應用和環(huán)境(包括真空和低溫)
(6)、可擴展到一個完整的實驗室測量和控制儀器與可選模塊
LP-IM200皮米級干涉位移傳感器應用領域:
工業(yè)制造、生命科學、科學與基礎研究
LP-IM200皮米級干涉位移傳感器技術規(guī)格:
LP-IM200皮米級干涉位移傳感器測量原理:
基于邁克爾遜干涉儀,這是一種測量位移和振動的精確方法。邁克耳孫干涉儀由波長穩(wěn)定激光器、分束器、目標和參考鏡組成。在分束器上,激光器發(fā)出的光被分成兩條臂。一臂指向目標表面,另一臂指向參考鏡。兩臂的光分別被目標面和參考鏡反射后,又返回到分束器。在這里,兩臂重組和干涉發(fā)生。干擾信號包含目標表面相對于參考鏡的位移信息。