產(chǎn)品特色

●  數(shù)字化產(chǎn)品，雙向流量控制

●  多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力

●  標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板

●  可選高精度：可優(yōu)于0.5%

●  高量程比 200：1

●  響應(yīng)時間快 僅需100 ms（可調(diào)）

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載”氣體兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
顯示流量：-99%FS～99%FS
顯示屏：帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
重復(fù)性：± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ?C / Atm
響應(yīng)時間：100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時間：<1s
標(biāo)定工況：25?C & 100kPa 絕壓、20?C & 100kPa 絕壓、0?C & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ?C
工作濕度：0-99%,無冷凝
標(biāo)準(zhǔn)工作壓力：1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項：2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA ～ 750mA
電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì)：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁、黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式：對位置無要求 防護(hù)等級：IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢我們

選項配件

1