Autosamdri-815B, Series B 臨界點干燥儀
- 4”圓晶MEMS釋放后的超臨界點干燥儀;
- 通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結果的可重復性;
- 所有內表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮;
- 可重復設定的操作參數確保了結果的可重復性;
- 集成自動控溫;
- 內置圓盤裂片保證安全;
- 可以一次干燥5片直徑為4”的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑3”、2”的圓晶或5片邊長為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);
- 靜態(tài)壓力控制模塊,自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性;
- 0.4μm內部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;
- 內腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內部狀態(tài);
- 擁有高效隔熱的冷卻系統(tǒng),使系統(tǒng)能夠迅速從室溫降到將近0°C;
- 每個操作模式LED顯示,一目了然;
- 潔凈室和防靜電兼容設計;
- 標配SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
- 樣品室填塊可以調整樣品室內徑到3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時間達到;
- 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;
規(guī)格:
- 外部尺寸:寬14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 長25.0” (63.5cm);
- 占地尺寸:寬42” (107 cm) × 深30” (76 cm);
- 樣品室尺寸:內徑4.5” × 深1.25”,樣品室容積:326 ml;
- 溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;
- LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型微型計量閥門來控制;
- 120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標準配件:
- 高壓不銹鋼LCO2管(內襯Teflon) 3 米長;
- 外部LCO2過濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過濾裝置可預先與LCO2管連接,安裝方便;
- SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳,降低排氣噪音;
- 防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;
- 內部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護線路、晶片和閥門
- 樣品室O型圈3個,樣品室照明燈2個,5A保險絲2個;
- 3個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括4、3、2和1.25英寸;
- 直徑為4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;
- 流量計,可精確控制BLEED的排氣速率;
- 用戶手冊;
- 所有部件一年質保。