1、適合于檢測(cè)半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
2、采用聲光報(bào)警。
二、產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào) | XP-703D |
檢測(cè)對(duì)象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙朋烷、硅烷、氫氣等) |
檢測(cè)原理 | 熱線型半導(dǎo)體式 |
采樣方式 | 自動(dòng)吸引式 |
可檢測(cè)濃度 (單位:ppm) | 砷烷磷烷乙朋烷硅烷氫氣 AsH3PH3B2H6SiH4H2 0.20.30.10.51.0 |
檢測(cè)表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |