英國牛津OXFORD CMI760高靈活性的銅厚測量儀
牛津儀器CMI760系列銅厚測量儀專為滿足印刷電路板
行業(yè)銅厚測量和質(zhì)量控制的需求而設(shè)計。
CMI760可用于測量表面銅和孔內(nèi)鍍銅厚度。
這款高擴展性的臺式測厚儀系統(tǒng)能采用微電阻
和電渦流兩種方法來達到對表面銅和孔內(nèi)鍍銅
厚度準確和精確的測量。
CMI760臺式測量系統(tǒng)具有非常高的多功能性和可擴展
性，對多種探頭的兼容使其滿足了包括表面銅、穿孔內(nèi)銅
和微孔內(nèi)銅厚度的測量、以及孔內(nèi)銅質(zhì)量測試的多種應(yīng)用
需求。
CMI760具有*的統(tǒng)計功能用于測試數(shù)據(jù)的整理分析。
SRP-4探頭：SRP系列探頭應(yīng)用*的微電阻測試技術(shù)。測
量時，通過厚度值與電阻值的函數(shù)關(guān)系準確可靠地得出厚
度值，而不受絕緣板層厚度或印刷電路板背面銅層影響。
可由用戶自行替換探針的SRP-4探頭為牛津儀器產(chǎn)
品。耗損的探針能在現(xiàn)場迅速、簡便地更換，將停機時間
縮至*短。更換探針模塊遠比更換整個探頭經(jīng)濟。
CMI760的標準配置中包含一個替換用探針模塊。另行訂
購的探針模塊以三個為一組。另外，系繩式的SRP-4探頭
采用結(jié)實耐用的連接線和更小的測量覆蓋區(qū)令使用更為
方便。
CMI760主機
SRP-4探頭
SRP-4探頭替換用探針模塊(1個）
NIST認證的校驗用標準片(2個）
ETP探頭
TRP探頭
SRG軟件
主機規(guī)格：
SRP-4 探頭規(guī)格
準確度：±1% (±0.1 μm)參考標準片
ETP 探頭規(guī)格
TRP-M (微型探頭) 規(guī)格:
配件特點
ETP 探頭：ETP探頭采用電渦流測試技術(shù)。
電渦流測試方法指示出印刷電路板穿孔內(nèi)
銅厚是否符合要求。*設(shè)計的探頭使測
量準確、不受板內(nèi)層影響，即使是雙層板
或多層板，甚至在有錫或錫/鉛保護層的情
況下，同樣能夠良好工作。另外，CMI760
儀器配ETP 探頭采用溫度補償技術(shù)，即使是
剛從電鍍槽內(nèi)取出的板，也能實現(xiàn)對穿孔
內(nèi)鍍銅厚度的測量。
TRP 探頭：配備TRP探頭，CMI760可精確
測試穿孔的質(zhì)量，包括孔內(nèi)鍍銅的裂縫、
空洞和不均勻性。TRP的36-點測量系統(tǒng)是
牛津儀器的，對穿孔鍍銅品質(zhì)進行量
化，而且只有牛津儀器擁有這項產(chǎn)品。錐
體形的探針確保了三個接觸點的可重復
性，以保證測量的準確性、可重復性和再
現(xiàn)性。
存儲量：8000 字節(jié)，非易失性
尺寸：11 1/2 英寸(長)× 10 1/2 英寸(寬)×
5 1/2 英寸(高)（29.21× 26.67× 13.97 厘
米）
重量：6 磅（2.79 千克）
單位：通過一個按鍵實現(xiàn)英制和公制的自
動轉(zhuǎn)換
單位轉(zhuǎn)換：可選擇mils 、μm、μin、
mm、in或%作為顯示單位
接口：RS-232 串行接口，波特率可調(diào)，
用于下載至打印機或計算機
顯示：帶背光和寬視角的大LCD液晶顯示
屏，480(H) × 32(V) 象素
統(tǒng)計顯示：測量個數(shù)，標準差，平均值，
*大值，*小值
統(tǒng)計報告（需配置串行打印機或PC電腦下
載):存儲位置，測量個數(shù)，銅箔類型，線
形銅線寬，測量日期/ 時間，平均值，標
準差，方差百分比，準確度，*高值，*
低值，值域，CPK 值，單個讀數(shù)，時間
戳，直方圖
圖表：直方圖，趨勢圖，X-R 圖
精確度：化學銅：標準差0.2 %；電鍍銅：
標準差0.3 %
分辨率：0.01 mils > 1 mil, 0.001 mils < 1 mil,
0.1 μm > 10 μm, 0.01 μm < 10 μm, 0.001 μm
< 1 μm
測量厚度范圍：銅：10 μin - 10 mil (0.25 μm
- 254 μm)，線形銅線寬范圍：8 mil - 3000
mil (203 μm - 76.2 mm)
準確度：± 0.01 mil (0.25 μm) < 1 mil (25 μm)
精確度：1.2 mil 時，1.0% （典型情況下）
分辨率：0.01 mils (0.25 μm)
電渦流：遵守ASTM E37696 標準的相關(guān)規(guī)定
測量厚度范圍：0.08 - 4.0 mils (2 - 102 μm)
孔*小直徑：35 mils (899 μm)
孔直徑范圍：10 mils – 40 mils(254 – 1016
μm)
*小厚度：13 mils with 10 mil hole (330.2
μm with 254 μm hole)
電渦流：遵守ASTM E37696 標準的相關(guān)規(guī)定
測量厚度范圍：0.08 - 4.0 mils (2 - 102 μm)
孔*小直徑：35 mils (899 μm)
