北京華旭世紀(jì)HXMF05系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,采用了數(shù)字式技術(shù),相比模擬技術(shù),HXMF05系列產(chǎn)品提高了精度和數(shù)字化程度。
北京華旭世紀(jì)HXMF05系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,采用了數(shù)字式技術(shù),相比模擬技術(shù),HXMF05系列產(chǎn)品提高了精度和數(shù)字化程度。它采用了毛細(xì)管熱傳感技術(shù)和熱溫差原理,來測量和控制氣體的質(zhì)量流量。由于熱溫差只和氣體的質(zhì)量流量有關(guān),因此其測量值不受氣體的溫度和壓力變化的影響。
HXMF05系列小流量熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品,采用了緊湊型設(shè)計(jì),體積小巧精致,產(chǎn)品堅(jiān)固耐用。產(chǎn)品使用了線性化校正電路和EMI保護(hù),具備安全可靠、性能穩(wěn)定、低功耗、壽命長等特點(diǎn)。
在數(shù)據(jù)傳輸上,不但具備傳統(tǒng)的有線式,還具備局域網(wǎng)無線傳輸數(shù)據(jù),互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺等強(qiáng)大功能。
::產(chǎn)品特色::
● 數(shù)字化技術(shù),更快速的響應(yīng)時間
● 優(yōu)于1%FS的高精度
● 出色的長期穩(wěn)定性
● 可測量腐蝕性氣體,堅(jiān)固耐用
● 精巧的外觀設(shè)計(jì),全面的安全保護(hù)電路及EMI
● 可配專用顯示表,顯示瞬時流量
● 諸多選項(xiàng):高精度、自定義量程、流量信號無線傳輸
遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺、短信報(bào)警、郵件報(bào)警等
::典型應(yīng)用::
· 光伏及晶體制備 · 真空行業(yè)及鍍膜 · 泄漏檢測· 爐窯及微反應(yīng)裝置
· 半導(dǎo)體行業(yè) · 大學(xué)/研究所· 分析儀器 · 氣體混合配比
· 計(jì)量及計(jì)價· 燃料電池 · 燃燒測試 · 其它氣體測控場合
::性能指標(biāo)::
介質(zhì)要求:與介質(zhì)兼容的氣體,支持腐蝕性氣體
介質(zhì)種類:客戶,也可現(xiàn)場更改-需咨詢我們
標(biāo)定工況:0℃ @ 1 atm(氮?dú)猓?br> 測控量程:從0~5sccm到0~250slm任選,可定制更高流量范圍
量程比:50:1
精度:±0.35%F.S.或±1.0%RD,取數(shù)值大者(FS-滿量程 RD-讀數(shù))
重復(fù)性:±0.2%F.S.
流量分辨率:0.1%F.S.
響應(yīng)時間:1.5S
閥門狀態(tài):常閉(僅控制器,流量計(jì)無閥門)
工作溫度:5~45℃
工作濕度:0~99%RH(無冷凝)
工作壓差范圍:流量計(jì) 0.02MPa~3MPa
控制器 0.1~0.5MPa(>10SLM為0.1~0.3MPa)
耐壓:3MPa,可選高壓選項(xiàng)10MPa
輸入輸出信號:標(biāo)準(zhǔn)為RS485,可選0~5V
通訊協(xié)議:Modbus
供電電壓:24VDC@250mA
電氣接口:DB15pin,2XRJ45
泄漏率:≤1×10-10次方Pa·立方米 /S(He)
接液材質(zhì):316L SS
密封材料:根據(jù)氣體種類由廠家選擇或客戶,包括:PTF、氟橡膠FKM、全氟橡膠FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ,等
管道接頭:1/4〃VCR,1/8、1/4、3/8雙卡套,3、6、8、10mm雙卡套
外形尺寸:長×寬×高:127×30×128.5mm
產(chǎn)品重量:流量計(jì)0.75kg 控制器0.9kg
::訂購信息::
· 流量計(jì)或控制器 · 氣體種類 · 流量范圍 · 工作溫度
· 入口壓力 · 出口壓力 · 管道連接尺寸和類型
· 輸入/輸出信號 · 安裝姿勢 · 選項(xiàng)及其它特殊要求:請咨詢我們