產(chǎn)品用途：該系列電爐系周期作業(yè)，供企業(yè)實(shí)驗(yàn)室、大專院校、科研院所等單位選用。設(shè)備為用戶提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體，納米技術(shù)、碳纖維等新材料新工藝領(lǐng)域。
一、 操作便捷性：
1、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結(jié)構(gòu)。
2、使取放物料過(guò)程簡(jiǎn)化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作。
3、取消了復(fù)雜的法蘭安裝過(guò)程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能。
二、結(jié)構(gòu)實(shí)用性：
1、爐膛材料采用優(yōu)質(zhì)的多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，溫場(chǎng)均勻。電熱元件采用表面溫度1500℃的優(yōu)質(zhì)硅碳棒。
2、密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進(jìn)出氣微量可調(diào)功能。
3、兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應(yīng)力，杜絕了因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞。
4、*的空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，當(dāng)爐體表面溫升到達(dá)50℃時(shí)，排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng)，使?fàn)t體表面快速降溫。
三、使用安全性：
1、超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過(guò)允許設(shè)定值后，自動(dòng)斷電及報(bào)警。
2、漏電保護(hù)功能，當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。以上功能確保了使用的安全性。
四、控制智能化：
1、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能，并可編制各種升降溫程序。
2、國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫，進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編程40段程序控溫。
3、電爐內(nèi)配置有485轉(zhuǎn)換接口，可實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)相互連接。完成與單臺(tái)或多達(dá)200臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能。
五、周邊拓展性：
1、真空控制系統(tǒng)。通過(guò)各種真空控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)樣品在低、中、高真空環(huán)境下進(jìn)行試驗(yàn)。
2、氣體流量控制系統(tǒng)。通過(guò)浮子或質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)進(jìn)氣量，以滿足用戶在不同反應(yīng)氣氛或保護(hù)氣氛條件下的實(shí)驗(yàn)要求。
六、設(shè)計(jì)性：
該設(shè)備為產(chǎn)品，具有多項(xiàng)獨(dú)立自主的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。外觀美觀，結(jié)構(gòu)合理，使用方便。
產(chǎn)品用途：該系列電爐系周期作業(yè)，供企業(yè)實(shí)驗(yàn)室、大專院校、科研院所等單位選用。設(shè)備為用戶提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體，納米技術(shù)、碳纖維等新材料新工藝領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù)：
| 國(guó)產(chǎn)程序 | SK-G06143-L | SK-G08143-L |
| 溫區(qū) | 單溫區(qū) | |
| 溫度 | 1400℃ | |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 260mm | |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 120mm | |
| 加熱元件 | 硅碳棒 | |
| 空爐升溫時(shí)間 | <30min | |
| 額定功率 | 5Kw | |
| 工作電壓 | 220V | |
| 溫度控制 | 國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫；進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編輯40段程序控溫； | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 剛玉管尺寸 | Φ60/53x1000mm | Φ80/70x1000mm |
| 爐管材料 | 剛玉管 | |
| 爐管工作溫度 | 1300℃ | |
| 配置爐管時(shí)升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤3℃/min;1200-1400℃≤2℃/min | |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置 | 氣路總成一套 (含真空壓力表)、剛玉管一支、鉤子一把、高溫手套一副 | |
| 真空/氣氛總成配套(可選) | 真空控制系統(tǒng): 中真空控制系統(tǒng)、高真空控制系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)； | |
| 氣路控制系統(tǒng)：氣體浮子流量控制系統(tǒng)、氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)； | ||
| 計(jì)算機(jī)集散控制系統(tǒng)； CVD電爐系統(tǒng)； | ||
