GTS-1數(shù)字化光柵投影云紋攝像儀
(可根據(jù)用戶要求定制)
用白光作為光源,將較密的柵線,如6線/mm到10線/mm的柵投影到被測物的漫射面上,利用CCD授受信息輸入計算機中,經過圖像處理,可以精確計算出物體的形貌。這一方法不受柵板尺寸的限制,投影柵板做得好,可以對整個汽車或飛機機翼及機身進行測量。還可以用顯微投影加上長距離顯微鏡系統(tǒng)放大,對細小被測物進行測量(如尺寸為1mm左右的物體)。無論是對大物體或小的細觀測量,均可以用相移方法提高其靈敏度。所以這一技術發(fā)展相當快,一是用于大型結構上,如汽車外殼、飛機機翼和機身、火箭、大型船舶的局部,大型天線等;二是用于細小微觀測量上,如硅片的平整度,人造晶體生長的形狀測量、咱子浸水后的膨脹規(guī)律測定上。投影柵法的發(fā)展和制柵技術、計算機圖像處理、相移技術、顯微投影、長距離顯微鏡等技術密切相關,發(fā)展十分迅速。系統(tǒng)的測量靈敏度與被測面積有關,一般直徑1mm的測量可到靈敏度為0.1微米;10mm的測量面積可到1微米。
- 儀器配置及參數(shù)
白光光纖冷光源150w;
帶有機械式相移機構的8~15線/mm投影光柵;
帶有75mm定焦投影放大鏡頭的投影系統(tǒng);
數(shù)字式CCD,大恒1394口,1K×1K分辨率;
F25百萬像素定焦鏡頭;
測量范圍,2mm2-100mm2平面型物體;
測量靈敏度,0.01mm;
六自由度試件載物臺;
進口圖采卡:Meteor-II;
圖像采集、處理及計算軟件:結果可以圖像數(shù)字化輸出;
- 選配件
- 隔振臺:0.8m×1.2m;臺高800mm、主動式氣墊隔振、5Hz;
演示試件:表面噴砂,帶有5mm直徑的微坑