產(chǎn)品介紹

Thermo Scientific ™ Prisma ™ E SEM 結(jié)合了全面的成像性能和的環(huán)境模式，同時兼容廣泛的硬件和軟件選型，可滿足多用戶實驗室的綜合應用需求。Prisma E SEM 的三種真空模式（高真空、低真空和 ESEM™）使得系統(tǒng)靈活性，可以容納任何 SEM 可用的泛的樣品類型，包括放氣的、未鍍導電膜的或者是與真空狀態(tài)不相容的樣品。多種檢測器選項（定向背散射探測器、STEM、陰極熒光探測器等）提供了所有必要的樣品信息。探測器信號同步采集和顯示，可以在最短的時間內(nèi)提供答案。此外，ESEM可以在現(xiàn)實條件下對樣品進行原位研究，例如在濕潤、高溫、潮濕或反應性環(huán)境中的樣品觀察。 Prisma E SEM 還包括一系列軟件集成的原位實驗臺，用于執(zhí)行和控制動態(tài)實驗。分析樣品倉可以滿足日益增長的樣品元素信息及晶體結(jié) 構(gòu)分析需求，它同時支持相對的雙能譜（EDS）探測器、共面能 譜（EDS） /電子背散射衍射（EBSD）和平行束波譜（WDS） 探測器。支持掃描預設(shè)、便捷的相機導航和Thermo ScientificSmartSCAN™，更進一步提升了生產(chǎn)力、數(shù)據(jù)質(zhì)量和易用性。對于日常工作，Prisma E SEM可以使用強大的基于Python的腳本工具Autoscript自動執(zhí)行。

產(chǎn)品特點

? 在自然狀態(tài)下對材料進行原位研究：在各種操作模式下分析導電和不導電樣品， 同步獲取二次電子像和背散射電子像。

? 縮短樣品制備時間：低真空和環(huán)境真空技術(shù)可針對不導電和/或含水樣品直接成像和分析，樣品表面無荷電累積。

? 觀察所有樣品獲取全面的信息，在每種操作模式下均可同時進行SE和BSE成像。

? 原位分析配置專門的原位實驗臺，溫度范圍從-165℃到1400℃。

? 的分析功能：大樣品倉可安裝3個EDS 探測器、WDS和共面EDS/EBSD，其中兩個EDS端口為180°正對。

? 的不導電樣品分析功能：借助多級穿過透鏡的真空系統(tǒng)，實現(xiàn)低真空下的高質(zhì)量EDS 和 EBSD 分析。

? 高精度優(yōu)中心樣品臺，105°傾斜角度范圍，可觀察樣品。

? 軟件直觀、簡便易用，配置用戶向?qū)Ъ?Undo（撤銷）功能，新手用戶可進行高效操作，專家用戶也可進行更少的操作，完成快速分析。

? 廣泛的配置選項，包括可伸縮的RGB CL陰極熒光探測器、1100℃ 高真空熱臺、μHeater 和Autoscript（基于Python的腳本工具API）。

參數(shù)

電子束

? 高真空成像

- 30 keV下 3.0 nm （SE）

- 30 keV下 4.0 nm（BSE）*

- 3 keV下 8.0 nm （SE）

? 高真空下，電子束減速模式

- 3 keV下7.0 nm （電子束減速模式* + DBS*）

? 低真空成像

- 30 keV下 3.0 nm （SE）

- 30 keV下 4.0 nm（BSE）

- 3 keV下 10.0 nm （SE）

? ESEM

- 30 keV下 3.0 nm （SE）

? 電子束流范圍： 2 μA，連續(xù)可調(diào)

? 加速電壓范圍：200 V - 30 kV

? 放大倍數(shù) ：6 – 1,000,000 倍

樣品倉

? 內(nèi)寬：340 mm

? 分析工作距離：10 mm

? 端口：12

? EDS 出射角：35°

? 可同時安裝三個 EDS 探測器，其中兩個處于180°

? 共面 EDS/EBSD ，與樣品臺傾斜軸垂直設(shè)定了預配置方法包括自定義方法和數(shù)據(jù)導出功能的用戶友好軟件

? 通用 9 針電氣接口

真空系統(tǒng)

? 1個250 升/秒渦輪分子泵（TMP）

? 的“穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng)

? 電子束在氣體區(qū)域的行程（BGPL）：10 mm 或 2 mm

? 典型換樣時間：高真空模式 ≤ 3.5 分鐘；環(huán)境真空模式≤4.5 分鐘

? 可選 CryoCleaner 冷阱

? 可選升級成無油機械泵（PVP）

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