1) 采用剛性好的固定橋式結(jié)構(gòu),具有 精度、 性能和 穩(wěn)定性的優(yōu)點(diǎn);
2) 四軸均采用精密滾珠絲杠傳動(dòng),具有剛性高,反向間隙小、傳動(dòng)精度高的特點(diǎn);
3) 采用優(yōu)質(zhì)花崗巖空氣軸承導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),熱膨脹系數(shù)小,導(dǎo)向精度高,運(yùn)行平穩(wěn);
4) Y向采用燕尾式氣浮導(dǎo)軌設(shè)計(jì),使其在X、Z方向具有較強(qiáng)的抗扭強(qiáng)度;
5) Z軸采用技術(shù)的氣浮套結(jié)構(gòu),偏置力矩小,運(yùn)動(dòng)平穩(wěn);
6) 光柵尺采用進(jìn)口精度插槽式光柵尺;
7) 配備5環(huán)8區(qū)四色環(huán)形光源、輪廓光源、同軸光源,可控光源系統(tǒng),智能實(shí)現(xiàn)光源亮度調(diào)節(jié)。