捕集泵的原理和應用
PFC-661HT低溫真空捕集泵主要作用是利用低溫冷凝原理,通過真空室內冷凝盤管的低溫表面迅速冷凝真空系統(tǒng)中的游離水和其它高沸蒸汽,可以大大提高抽空系統(tǒng)的抽空效率,縮短抽空時間,減少擴散泵返油對真空室造成的污染,提高真空潔凈度提升產(chǎn)品品質,降低廢次品率。
主要適用于物理(化學)氣相沉積鍍膜、真空蒸發(fā)鍍膜、磁控濺射鍍膜、離子鍍膜等真空鍍膜設備,光學鍍膜、卷繞鍍膜等各種功能鍍膜或裝飾鍍膜系統(tǒng)。可以在真空室內抽吸水汽,也可以用于冷阱等冷卻裝置防止擴散泵返油。
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