產(chǎn)品信息 |
采用的X射線集束毛細管透鏡,X射線只照射樣品的50μmφ微小領(lǐng)域,從而達到高靈敏度、高精度分析! μEDX大幅度地提高了傳統(tǒng)的X射線熒光光譜儀無法完成的微小領(lǐng)域分析的靈敏度。配備新開發(fā)的X射線集束毛細管透鏡,實現(xiàn)了最小分析直徑達50μm的微區(qū)測定,適合半導(dǎo)體/電子部件/食品領(lǐng)域等高靈敏度、高分辨率分析。 采用島津的X射線聚光透鏡[集束毛細管透鏡],X射線只照射樣品的50μmφ微小領(lǐng)域,實現(xiàn)高靈敏度、高精度分析。 可以在大氣中進行從輕元素到重元素(Na~U:μEDX-1300;Al~U:μEDX-1200/ 1400)的分析。 配備雙CCD(高倍率,低倍率)攝像頭,可以在觀察樣品圖像的同時方便地決定分析位置,進行分析。 標準配備無標樣定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以測定聚合物薄膜的背景基本參數(shù)(BG-FP)法。 作為微區(qū)X射線熒光光譜分析裝置,在世界上配備了5種1次X射線濾光片自動交換機構(gòu),可消除來自X射線管的特征X射線,提高信噪比。 配備多元素同時/自動掃描成圖功能。 采用高速掃描成圖,在短時間內(nèi)便可獲得圖像(μEDX-1200/1300)。追加透射觀察單元(選購),也可進行透射X射線的同時測定。 配備電子冷卻式高計數(shù)率檢測器。無需液氮,可進行高精度分析。(μEDX-1400) 可輕松地進行電子材料/部件的鍍層膜厚測定、異物檢測、失效解析及成圖分析。 ※如有外觀及規(guī)格的變動,恕不另行通知。 |