自動(dòng)測(cè)量金相顯微鏡是一種結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力和影像儀的X、Y、Z軸表面尺寸測(cè)量功能的高精度、高效率自動(dòng)測(cè)量?jī)x器。適于芯片、晶圓、光纖、光器件、液晶面板、3D玻璃等，對(duì)測(cè)量精度要求較高且需自動(dòng)化批量測(cè)量的行業(yè)，既可作高倍率觀察也可做高精度測(cè)量，尤其適于晶圓切割、晶粒粘貼、焊線和外觀檢測(cè)（外引腳的平整性、共面度、腳距）等行業(yè)。

主要特點(diǎn)

強(qiáng)大的編程功能，可批量測(cè)量。

◎配置操縱手柄，亦可軟件程控，完成工作臺(tái)快速移動(dòng)。

◎X、Y、Z軸伺服控制，定位精度高、速度快

◎固定式玻璃工作臺(tái)及大理石平臺(tái)底座，穩(wěn)定性好，承載量大，精度高，可測(cè)量較大、較重零件而不影響儀器精度。

◎進(jìn)行高速測(cè)量，提高測(cè)量效率。

選用高清品牌相機(jī)，搭載soptop金相系統(tǒng)，整體成像清晰無閃爍，視場(chǎng)開闊。

測(cè)量精度在同類設(shè)備中，視場(chǎng)內(nèi)精度可做到1μm，重復(fù)精度可達(dá)0.5μm。

物鏡可切換多種倍率：5X，10X，20X，50X（選配）100X（選配），綜合倍率可達(dá)2000倍以上。

○單視野范圍內(nèi)測(cè)量精度±1μm，重復(fù)精度±0.5μm 加裝光譜共焦位移傳感器可測(cè)高度、深度、平面度，測(cè)量精度±1μm。

○可選配超長(zhǎng)工作距離APO物鏡。

○標(biāo)配反射和透射LED可程控光源或非程控鹵素光源。利用可變孔徑光闌，可進(jìn)行無衍射觀察測(cè)量?！鹂筛鶕?jù)客戶需求，訂制各種尺寸工作臺(tái)，目前行程可做3000*2000mm，最小行程可做50*50mm工作臺(tái)。

○可快速釋放平臺(tái)，便于在大工件測(cè)里或者多產(chǎn)品測(cè)量時(shí)快速移動(dòng)工作臺(tái)。

○有精調(diào)/微調(diào)兩種模式，便于精確聚焦和觀察測(cè)量，快速定位焦面。

○顯示分辨率可做到0.00005mm。

○可根據(jù)客戶要求加配激光測(cè)頭，各種規(guī)格攝像機(jī)以及更高精度光柵等（光尺選配0.01μm）。

○自主研發(fā)金相量測(cè)軟件，頁面簡(jiǎn)潔大氣，操作方便易上手，更具有自動(dòng)抓邊，編程測(cè)量等功能，可適高精度的復(fù)雜工件測(cè)量。

○測(cè)量數(shù)據(jù)支持讀取處理，便于客戶建立測(cè)量數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，對(duì)接內(nèi)部ERP系統(tǒng)，從而幫助客戶提升制造信息化，智能化水平。