1、概述
STY-3型導電型號測試儀是嚴格按照SEMI MF42-1105、GB/T 1550-1997(非本征半導體材料導電類型的標準測試方法)中的熱探針法及整流導電類型測試方法設計的導電類型鑒別儀。
本儀器熱探筆內裝有加熱和控溫組件,自動加熱并使溫度維持在40?60℃范圍內,冷熱探筆在半導體材料上產(chǎn)生的熱電動勢及整流法產(chǎn)生的電勢差經(jīng)低噪聲、低漂移的集成運算放大器放大后,用液晶顯示器件(LCD)顯示及檢流計指示型號方向。儀器靈敏度分高、低兩檔,可在 的電阻率(從高阻單晶到重摻單晶)范圍內判別半導體材料型號。
2、技術參數(shù)
(1)可判別鍺、硅材料的電阻率范圍:
鍺:非本征鍺~10?4Ω·cm 硅:104~10-4Ω·cm
經(jīng)國內外 在室溫情況下,熱電法對于電阻率低于1000Ω·cm的硅單晶測量結果可靠;在室溫情況下,整流法對于電阻率1-1000Ω·cm的硅單晶測量結果可靠
(2)鍺、硅單晶直徑及長度:不受限制
(3)顯示方式:由顯示N和P的液晶器件直接指示,同時中心刻度為零位指示器也在指示型號,指針向左偏轉被測樣品為N型,指針向右偏轉被測樣品為P型
(4)探針:先用SEMI MF42-1105標準中建議的不銹鋼作冷熱探針材料,針尖為60℃錐體,熱筆溫度自動保持在40?60℃范圍內,冷筆與室溫相同。整流法 硬質合金作探針
(5)電源及功耗:AC 220V±10%,50HZ交流供電,功耗(熱筆加熱狀態(tài))小于40W,平均功耗≈10W
(6)外型尺寸:370×320×110(mm)
(7)重量:約5.3 kg
1、概述
STY-2R型導電型號測試儀是嚴格按照 SEMI MF42-1105及GB/T1550中的全類型整流法設計生產(chǎn)。
本儀器將三根測試探針做成測量探頭,任意兩根針之間絕緣度大于500MΩ,每根探針均有獨立伸縮和加壓機構,因此樣品上無需制備電極。
探針與半導體材料上產(chǎn)生的整流電勢差經(jīng)低噪聲、低飄移集成運算放大器放大后,用液晶顯示器件直接指示型號。
2、技術參數(shù)
(1) 確認:可準確判別硅材料導電型號的電阻率范圍:0.05~1000Ω·cm
(2)本儀器實際可測量硅材料電阻率范圍:10-2~104 Ω·cm
(3)可測線度大于5mm的任意形狀的硅塊和硅片,樣品長度、直徑不受限制
(4)顯示方式:由顯示N和P字樣的液晶器件直觀指示半導體材料型號
(5)探針采用 的碳化鎢硬質合金,直徑0.8mm,每根針有獨立的加壓機構,壓力可在50~500克(單針)范圍內根據(jù)用戶需要進行調整
(6)探針間距:1.59mm(探針直徑0.8 mm)或1.00 mm(探針直徑0.5 mm)
(7)外型尺寸:210×100×230(寬×高×深,單位mm)
(8)重量:約3kg
(9)電源:交流 220V±10%,50HZ。功耗≤20W
1、概述
STY—1型導電型號測試儀是嚴格按照SEMI MF42-1105、GB/T 1550-1997(非本征半導體材料導電類型的標準測試方法)中的熱探針法設計的導電類型鑒別儀。
本儀器熱探筆內裝有加熱和控溫組件,自動加熱并使溫度維持在40-60℃范圍內,冷熱探筆在半導體材料上產(chǎn)生的熱電動勢,經(jīng)低噪聲、低漂移的集成運算放大器放大后,用寬表面檢流計指示型號方向,并可定量測出熱電流的數(shù)值大小。儀器靈敏度可調,可在 的電阻率(從高阻單晶到重摻單晶)范圍內判別半導體材料型號。
2、技術參數(shù)
(1)可判別鍺、硅材料的電阻率范圍:
鍺:非本征鍺~10-4Ω·cm ,硅:103~10-4Ω·cm
在室溫情況下,對于電阻率低于1000Ω·cm的N型和P型硅,本方法結果可靠。
(2)熱電流測量范圍:0~±1μA 分六個量程:
±3nA、±10nA、±30nA、±100nA、±300nA、±1μA
大偏轉靈敏度:1×10-11A/格
(3)鍺、硅單晶直徑及長度:不受限制。
(4)顯示方式:中心刻度為零位的寬表面指針指示器,指針向正方向偏轉被測樣品為P型,指針向負方向偏轉被測樣品為N型。
(5)探針 SEMI MF42-1105標準中建議的不銹鋼作探針材料,針尖為60°錐體,熱筆溫度自動保持在40-60℃范圍內,冷筆與室溫相同。
(6)電源及功耗:AC 220V±10%,50HZ交流供電,耗電小于10W。
(7)外型尺寸:170×160×230(mm)
(8)重量:約2.5kg
1、概述
STY-2導電型號測試儀是嚴格按照SEMI MF42-1105、GB/T 1550-1997(非本征半導體材料導電類型的標準測試方法)中的熱探針法設計的便攜式導電型號鑒別儀。
本儀器熱探筆內裝有加熱控溫組件,自動加熱并使溫度保持在40-60℃范圍內,冷熱探筆在半導體材料上產(chǎn)生的熱電動勢,經(jīng)集成運算放大器放大后,用液晶器件直接顯示N型或P型。
2、技術參數(shù)
(1)可判別鍺、硅材料的電阻率范圍:
鍺:非本征鍺~10-4Ω·cm 硅:103~10-4Ω·cm
(2)鍺、硅的形狀不受限制
(3)探針:測量硅單晶的型號儀, SEMI MF42-1105標準中 的不銹鋼作冷熱探針材料,針尖為60°錐體;測量鍺單晶的型號儀 鉛做探針材料
(4)電源及功耗:AC220V,50HZ交流電供電,功耗:30W
(5)外型尺寸:210×100×230(寬×高×深 單位:mm)
(6)重量:3kg
公司承諾:質量服務承諾:
1 期一年,終生免費維護。
2.在 期內,除人為因素外,任何因儀器設計、材料或工藝不當引起的缺陷、故障我們免費修理或更換。
3.接到用戶通知所提供的儀器出現(xiàn)故障后,十分鐘內回應.
4 及時向用戶以優(yōu)惠的提供所需的備品備件和易
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