R51SL 系列高安全性膜片式減壓器,其結(jié)構(gòu)采用多項(xiàng)安全設(shè)計(jì),選用優(yōu)質(zhì)原材料制造,輸出壓力穩(wěn)定,特別適用于強(qiáng)腐
h 單級(jí)式減壓結(jié)構(gòu)
h 膜片與母體采用硬密封結(jié)構(gòu),并有二次密封保護(hù)
h 上蓋帶有多重密封保護(hù)和排放接口
h 母體接口:1/4” 面密封內(nèi)螺紋
h 安全壓力:1.5 倍使用壓力
h 輸入壓力:500 psi,1500 psi,3000 psi
h 輸出壓力:0-25 psi,0-50 psi,0-100 psi,
0-150 psi,0-250 psi
h 適用溫度:-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
h 泄漏率:1×10-9 mbar.l/s
h CV 值:0.16
h 重量:1.54 kg (3.42 lbs)
材質(zhì) Materials
h 母體:316L (EP),可選 C22 哈氏合金
h 閥座:PCTFE
h 膜片:C22 哈氏合金
h 閥桿:C22 哈氏合金
適用范圍 Typical Applications
h 半導(dǎo)體
h 太陽(yáng)能
h 真空鍍覆設(shè)備
h 特氣制備