用途:白光干涉儀是一種新型的表面形貌測(cè)量設(shè)備，主要用于獲得材料表面的粗糙度、波紋度、翹曲度、自相關(guān)函數(shù)、承載曲線、輪廓線提取等三維特征參數(shù)。以及對(duì)材料表面形貌的三維測(cè)量，包括:水平尺寸、高度、面積、體積、缺陷深度、曲率半徑、傾斜角、柵線分析等。
型號(hào):ContourX-100、ContourX-200、
ContourX-500、Contour GT等
基本參數(shù):
●垂直測(cè)量范圍:0.1 nm 至 10 mm
●垂直分辨率:<0.1 nm
●水平分辨率:0.5 um
●XY樣品臺(tái)尺寸:150 mm (6in.)
●樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:150 mm (XY軸)/100 mm(Z軸)
●物鏡:2.5X、5X、10X、20X、50x、115X
技術(shù)優(yōu)勢(shì):
●設(shè)計(jì)LED雙光源設(shè)計(jì)(白光、綠光)
●PSI，VSI，USI測(cè)試模式，滿足絕大部分樣品測(cè)試需求
●的圖像拼接功能
●多種縫合模式
●一格的鏡頭調(diào)整水平設(shè)計(jì)
●TTM鏡頭:直接透過透明介質(zhì)測(cè)量介質(zhì)下面的產(chǎn)品形貌
