TwisTorr / Turbo-V / Navigator 渦輪分子泵
安捷倫(前Varian/瓦瑞安)提供了抽速從 46 至 7500 升/秒的全系列渦輪分子泵，其中包括 Navigator 和 TwisTorr 兩個產(chǎn)品線。安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計，可以在低壓強內(nèi)實現(xiàn)高壓縮比，在大抽氣量和高前級壓強是實現(xiàn)的壓差。該渦輪分子泵為無油、無污染型，可以以任意角度安裝而不對材料施加應(yīng)力，故障率低，其平均故障時間 (MTTF) 通常大于 250000 小時。該泵以安捷倫范圍內(nèi)優(yōu)秀的應(yīng)用和技術(shù)支持團隊為后盾。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導(dǎo)體，并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專用泵。
產(chǎn)品特點：
- 功耗更低、性能更佳
- 通過減少發(fā)熱而節(jié)能，并提高可靠性
- 為風(fēng)冷而優(yōu)化的冷卻翅片
- 通過降低工作溫度進一步提高可靠性
- 功率要求低，前級耐壓高及可承受高氣載
- 可連接各種前級泵
- 冷卻方式靈活（風(fēng)冷或水冷）
- *的轉(zhuǎn)子設(shè)計與 TwisTorr 技術(shù)相結(jié)合，可將泵級數(shù)減少 30%
- 我們的整體型轉(zhuǎn)子可減少材料應(yīng)力并改善組裝件容差
- 電機縮短啟動時間并在氣體負荷變化情況下提高泵的穩(wěn)定性
- 潔凈的免維護真空
技術(shù)參數(shù)：
| Turbo-V81T | Turbo-V81M | TwisTorr-84FS | TwisTorr-304FS | Turbo-V551 Navigator | Turbo-V701 Navigator | Turbo-V750 TwisTorr | Turbo-V850 TwisTorr | Turbo-V1001 Navigator | Turbo-V2300 TwisTorr | Turbo-V1K-G | Turbo-V2K-G System | Turbo-V3K-G System | |||||||||||
| DN40 | DN63 | DN40 | DN63 | DN40 | DN63 | DN100 | DN160 | DN100 | DN160 | DN200 | DN100 | DN160 | DN200 | DN160 | DN200 | DN250 | DN250 | DN160 | DN200 | DN250 | DN250 | ||
| 抽速, l/s | 氮氣 | 50 | 77 | 50 | 77 | 56 | 67 | 250 | 250 | 350 | 550 | 690 | 370 | 700 | 750 | 790 | 950 | 1050 | 2050 | 810 | 1080 | 1600 | 2200 |
| 氦氣 | 56 | 65 | 56 | 65 | 46 | 63 | 255 | 255 | 450 | 600 | 620 | 500 | 680 | 690 | 820 | 870 | 900 | 1800 | 950 | 1150 | |||
| 氫氣 | 46 | 50 | 46 | 50 | 40 | 53 | 220 | 220 | 450 | 510 | 510 | 470 | 580 | 590 | 860 | 900 | 920 | 1500 | 680 | 730 | |||
| 氬氣 | 57 | 66 | 250 | 250 | 340 | 680 | 700 | 750 | 1040 | ||||||||||||||
| 壓縮比 | 氮氣 | 7×108 | 3×108 | >1×1011 | >1×1011 | >1×109 | 1×109 | 1×1011 | 1×1011 | 1×109 | >8×108 | >5×107 | 3×105 | >1×107 | |||||||||
| 氦氣 | 3×103 | 8×104 | 2.0×106 | >1×108 | 1×107 | 1×107 | 2×108 | 2×108 | 1×107 | 8×105 | >4×104 | ||||||||||||
| 氫氣 | 3×102 | 7×103 | 5.0×104 | 1.5×106 | 1×106 | 1×106 | 2.5×106 | 2.5×106 | 1×106 | 4×104 | 1.5×104 | ||||||||||||
| 氬氣 | >1×1011 | >1×1011 | 1×1011 | 1×1011 | 5×108 | ||||||||||||||||||
| 極限壓強,mbar | 5×10-9 | 5×10-10 | <8×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10–8 | <1×10–9 | ||||||||||
| 啟動時間,min | < 1 | < 1 | <2 | < 3 | <5 | <5 | <6 | <3 | <4 | <6 | <5 | <7 | <6 | ||||||||||
| 轉(zhuǎn)速, rpm | 80,000 | 80,000 | 81,000 | 60,000 | 42,000 | 42,000 | 50,000 | 50,000 | 38,000 | 33,300 | 45,660 | 33,000 | 31,800 | ||||||||||
| 進氣口法蘭 | KF, mm | 40 | 40 | 40 | |||||||||||||||||||
| CF, mm | 35 | 63 | 35 | 63 | 35 | 63 | 100 | 160 | 100 | 160 | 200 | 100 | 160 | 200 | 200 | 250 | |||||||
| ISO, mm | 63 | 63 | 63 | 100 | 160 | 160 | 200 | 160 | 200 | 160 | 200 | 250 | |||||||||||
| ISO-F, mm | 160-F | 200-F | 160 | 200 | 200-F | 250-F | 250-F | 160-F | 200-F | 250-F | 250-F | ||||||||||||
| 排氣口法蘭 | KF | NW16 | NW16 | NW16 | NW16(NW25 optional) | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 NW40 | NW40 | NW40 | NW25 | NW40 | NW40 | NW40 | ||||||||
| SEM 版本 | V | V | V | V | |||||||||||||||||||
| 電源控制器 | Rack | V | V | V | V | V | V | V | V | V | V | V | |||||||||||
| on board | V | V | V | V | V | V | V | V | |||||||||||||||
| Integrated electronics | V | V | V | V | |||||||||||||||||||
| PCB | V | V | V | ||||||||||||||||||||
Turbo-V 2K-G 渦輪分子泵
Turbo-V 2K-G 不僅是一臺泵。該裝置是專門為等離子濺射工藝精心設(shè)計的專用分子泵系統(tǒng)。其葉片級數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化，可以工作在高流速的氬氣氛圍下和溫度的環(huán)境中。此外，V-2K G的特點為控制器集成于泵內(nèi)、一體化的放空和吹掃閥以及免維護的軸承。所有這些特點使安捷倫 Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)的分子泵解決方案。
特點：
- 為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計的分子泵解決方案
- 目前性能、的裝置。為限度提高系統(tǒng)生產(chǎn)率和正常運行時間而設(shè)計的集成化解決方案。
- 將渦輪分子泵、驅(qū)動器件、電源、MoniTorr、吹掃氣裝置和通信裝置集于一身
- 通用電子器件接口和使用簡單的控制軟件模擬 I/O 信號和 RS232/RS485 接口為標準配置
- 安捷倫 Profibus 接口（可選）
Navigator渦輪分子泵
TwisTorr 渦輪分子泵
