1. 設(shè)備名稱:氦質(zhì)譜檢漏儀;
2. 設(shè)備型號:HTGE010;
3. 設(shè)備技術(shù)參數(shù):
3.1. 最小可檢漏率:5x10-13Pa.m3/s;
3.2. 漏率顯示范圍:1x10-3—1x10-13Pa.m3/s;
3.3. 進(jìn)氣口壓強(qiáng):1500Pa;
3.4. 啟動時(shí)間:≤3min;
3.5. 響應(yīng)時(shí)間:<1s;
3.6. 粗抽泵抽速:4L/s;
3.7. 重量:80kg;
4. 使用性能:
該檢漏儀具有高靈敏度,最小可檢漏率5x10-13Pa.m3/s,支持正壓、負(fù)壓檢漏。可自動跟蹤背景,提供快速可靠的檢漏結(jié)果,優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)。支持氮?dú)馄瓶?,快速降低背景,采用進(jìn)口的核心部件和工藝確保檢漏儀長期可靠,采用雙銥絲離子源,可自動切換,具有超快速保護(hù)功能,有效防止大氣沖入。