該雙爐體CVD系統(tǒng)為定制款，適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡(jiǎn)單。
2、氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司的知識(shí)產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì),提高操作便捷性。
3、中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)，耐沖擊分子泵
防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。
參數(shù)詳情：
| 產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-W2 |
| 管式爐部分 | |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有冷風(fēng)系統(tǒng)自動(dòng)降溫爐殼溫度不超過45℃ |
| 爐膛材質(zhì) | 真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡 |
| 溫度 | 1200℃ |
| 使用溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速度 | 推薦≤10℃/min，升溫速度20℃/min |
| 爐管材料 | 石英管 |
| 爐管尺寸 | OD:50mm*ID:44mm* 長(zhǎng)1400mm 管子中間部位開15mm，有個(gè)堵塞可堵上 |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm+200mm（雙爐體） |
| 爐膛開口 | 每個(gè)爐膛對(duì)應(yīng)開寬10mm*長(zhǎng)80mm的孔，并可封堵 |
| 法蘭 | 不銹鋼密封法蘭，拆卸方便，法蘭上裝有精密針閥 |
| 溫控系統(tǒng) | 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降溫程序； 1、采用PID方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置30段升降溫程序 2、控溫精度±1ºC 3、具有過溫保護(hù)、斷偶保護(hù) 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 加熱元件 | 合金電阻絲 |
| 測(cè)溫元件 | 2支K型熱電偶分別獨(dú)立控溫 |
| 工作電源 | AC220V，50Hz |
| 額定功率 | 4KW |
| 進(jìn)出氣口 | 法蘭上含有進(jìn)出氣口和精密針閥 |
| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 二路精密質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。 MFC1 N2 范圍: 0-1000 sccm MFC2 CO2范圍: 0-1000 sccm 氣路:2路 流量精度: 0.2% 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量。 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置 | 主機(jī)1臺(tái)，流量計(jì)1套、密封法蘭1對(duì)，石英管1支，密封圈4個(gè)，爐堵2個(gè)，坩堝鉤1把，高溫手套1副、拆卸扳手2把、說明書1份、合格證保修卡1份 |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
