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nikon光刻機配件motor(YASKAWA motor)

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  • 型號
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  • 所在地
  • 更新時間2023-10-20
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限3
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量2725
  • 人氣值106593
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深圳市天鉉真空技術有限公司,注冊資金人民幣貳佰萬元,公司坐落于改革開放前沿深圳市,現(xiàn)在大陸各地均設有分支機構和辦事處,合作供應商都是來自德國、英國、日本、美國、中國臺灣及國內(nèi)等區(qū)域的廠家,截止至2008年底天鉉真空深圳總公司服務的客戶已突破800余家,天鉉真空憑借其強大的經(jīng)濟后盾及技術資源在國內(nèi)已打造成為以生產(chǎn)自主“天鉉”品牌、代銷、維修進口真空泵及設計、安裝真空系統(tǒng)為一體的專業(yè)性企業(yè)。
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▲產(chǎn)品廣泛適用于:電光源真空鍍膜,機械,冶金,石油,化工,造紙,食品,醫(yī)藥,電力,電子,陶瓷制冷設備,工藝吸塑,科研,干燥及汽車維修等領域。

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▲天鉉真空堅持“*、信譽”為宗旨,堅持以市場為導向,做到交貨及時、服務周到,盡力滿足用戶需要;竭誠歡迎廣大客戶前來洽談和指導,開展有成效的合作。


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LF-F/LV-F系列oerlikong萊寶真空低溫泵COOLVAC10000iCL維修流量計銷售,全套校準證書,一年質(zhì)保期
nikon光刻機配件motor(YASKAWA motor) 產(chǎn)品詳情

LF-F/LV-F 系列oerlikong萊寶真空低溫泵COOLVAC10000iCL維修


流量計銷售,全套校準證書,一年質(zhì)保期。

本公司專業(yè)銷售質(zhì)量流量計近40年,具有豐富的銷售和售后服務經(jīng)驗,我們有專業(yè)的服務團隊和專業(yè)工程師對產(chǎn)品進行跟蹤服務。
具體產(chǎn)品參數(shù),價格請詢價,請聯(lián)系經(jīng)理

本公司主要經(jīng)營的品牌有:

HORIBA

MKS

BROOKS

UNIT

AERA

MKS

MYKROLIS

MILLIPORECTI BROOKS遠程顯示器模塊控制OB8 iso200接口現(xiàn)貨

SAM

STEC

深圳市天鉉真空技術有限公司AE 霍廷格 賽恩電源鍍膜射頻匹配器維修

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar(0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托)屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空,冷表面(低溫板)必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

尼康光刻機

提供NIKON備件(包含易耗件)

1,常用的馬達

*ulhaber minimotor的173:1,30.7:1,41:1等

stage
motor(YASKAWA motor)

bellows
motor

chiba
precision motor

主要用于wafer
loader,wafer stage各部位控制馬達

2,常用的手臂

fetch
arm

load/unload arm

3,鹵素燈

鹵素燈包括NIKON和USHIO

4,LSA
HE-NE激光管,激光干涉計interferometer

5,NIKON其它各類備件,如電路板等

6,NIKON電路板維修(以壞換好)等

深圳市天鉉真空技術有限公司AE 霍廷格 賽恩電源鍍膜射頻匹配器維修

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar(0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托)屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空,冷表面(低溫板)必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

萊寶公司生產(chǎn)用制冷機冷卻低溫泵。

客戶得益

低溫泵的優(yōu)勢:

- 所有氣體都有高抽速

- 對水汽有的抽速

對于相同直徑的高真空法蘭,低溫泵可以達到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(yōu)勢2:

與氣體傳輸泵(例如渦輪分子泵)相比,低溫泵在真空側(cè)沒有任何機械活動

部件、潤滑油或脂潤滑部件。所以:- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強范圍的無烴真空

- 對外部振動不敏感

其它優(yōu)點:

- 與其他高真空泵相比更加緊湊(抽速大于1500 l x s-1)

- 僅啟動和再生期間需要前級泵

- 利用計算機更容易對工藝和泵進行控制

- 性價比更高,使用成本更低,尤其是需要大抽速的應用

 

萊寶真空生產(chǎn)的低溫泵采用本廠生產(chǎn)的COOLPOWER雙級冷頭冷卻(Gifford/McMahon原理)。

有關COOLVAC系列低溫泵的設計,請見以下示意圖的內(nèi)容。

一級冷頭(9)冷卻熱輻射防護屏和低溫泵的障板(6)。

根據(jù)泵的型號和工作條件不同,達到45到80K的工作溫度,水蒸汽在這里冷凝。

熱輻射防護屏和障板為銅質(zhì),它們能很好地傳遞熱量,從而優(yōu)化制冷容量。

另外,熱輻射防護屏經(jīng)過拋光,將反射損失降到盡可能小。二級冷頭(7)用于冷卻冷傘(8)。

根據(jù)工作條件,達到 10到 20 K的工作溫度。氮氣、氧氣和氬氣在這里低溫冷凝。冷傘采用高導熱銅材與二級冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。


COOLVAC制冷機低溫泵

COOVAC系列的所有低溫泵都配有安全閥(UHV型帶有爆破膜),安全閥由工廠設置,過壓150mbar(113托)時打開。

為了保證在安全閥動作時,安全地排出可能影響健康的氣體,安全閥另配有一個 DN 40 KF 法蘭,上面可以連接一條排氣管線。

低溫泵的再生

低溫泵工作的一個重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵,所以被抽氣體都蓄積在泵內(nèi),飽和后必須泵排出。

具體操作方法是關閉壓縮機并加熱低溫區(qū)到室溫或略高的溫度,由前級真空泵將釋放的氣體排出。

非電控再生系統(tǒng)的低溫泵這種低溫泵通過向泵內(nèi)吹掃干燥、預熱的惰性氣體(例如氮氣)加熱低溫區(qū)到室溫。此情況下,由于低溫泵內(nèi)不可能有確定的和受控制的溫度,所以無法排除氫氣和氧氣同時存在的情況。只有通過干燥惰性氣體的稀釋作用來防止可燃混合氣的形成。

多臺低溫泵組合操作

由于萊寶真空的壓縮機COOLPAK 6000HD功能強大,可以同時驅(qū)動兩個以上冷頭或低溫泵。

客戶得益

- 極大的降低投資和操作成本

- 占地面積小

 

萊寶真空全自動加熱再生低溫泵

低溫泵通過電加熱器將一級和二級冷頭加溫到室溫。此類情況下,低溫泵內(nèi)可以達到確定和受控制的溫度分布。這個受控制的加溫過程保證了氣體被連續(xù)排出,也就是按以下順序氣體一個接一個

被釋放:

- 吸附在冷傘上的氣體(例如氫氣、  氦氣、氖氣)

- 冷凝在冷傘上的氣體(例如氮氣、  氧氣、氬氣)

真空接口位于上端,冷頭在下面,例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名規(guī)則相同,可提供從1500到60000l/s的全系列產(chǎn)品。

3. 特殊低溫泵

萊寶真空可以根據(jù)客戶要求提供特制低溫泵,如為航天環(huán)境模擬應用提供大口徑液氮輔助制冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2,詳細信息請和我們聯(lián)系。

典型應用

- 蒸發(fā)器

- 濺射系統(tǒng)

- 離子注入機

- 光學鍍膜機



熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
HB-PZ系列普通電機節(jié)電系統(tǒng) 面議 溫州市 華邦電力科技股份有限公司 2024-08-21 在線詢價
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水質(zhì)在線自動監(jiān)測儀配件交流電機 ¥99999 宿遷市 江蘇凌恒環(huán)境科技有限公司 2024-07-08 在線詢價
JF JBF電機引接線 面議 滁州市 安徽速能電氣集團有限公司 2024-05-29 在線詢價
德國Phytron 電機 VSH100.200.10-E-FV-8L ¥1000 天津市 天津克萊瑞科技有限公司 2024-11-08 在線詢價
德國winkelmann電機 GNRFZE 315L/3 / 75 kW ¥100 上海市 上海荊戈工業(yè)控制設備有限公司 2024-10-29 在線詢價
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