MCY2012壓阻真空測量儀是單片微機控制的智能儀器,采用不同量程的壓阻真空規(guī)管,用于測量101~0.01KPa,或者35~0.01KPa之間的真空度。由于壓阻規(guī)管輸出電壓是真空度的線性函數(shù),因此在上述范圍內(nèi),其測量精度和線性度很好,而且規(guī)管結(jié)構(gòu)牢靠,使用**長,是比較理想的粗低真空測量儀器。特別值得一提的是這種規(guī)管還可以作為壓力傳感器使用,對于需要真空度、壓力連續(xù)測量的場合極為適用。
1 . 主要技術(shù)指標(biāo):
1.1 測量范圍: 101~0.01KPa ±5‰±1字(滿度誤差)
1.2 配用規(guī)管: 154N-015A壓阻規(guī)管
1.3 電源電壓: DC24V
1.4 使用環(huán)境: 5~30℃ 濕度 < 80%
1.5 外形尺寸: 96×48×112mm3
1.6 開孔尺寸: 92×43mm2
2.工作原理和使用方法 :
2.1 工作原理:
壓阻真空規(guī)管是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種力敏器件。它以單晶硅為基體,按特定晶面,根據(jù)不同的受力形式分別加工成彈性應(yīng)變元件,在彈性應(yīng)變元件的適當(dāng)位置,用集成電路工藝技術(shù)擴散四個等值電阻,組成惠斯登電橋。當(dāng)不受壓力作用時,電橋處于平衡狀態(tài);當(dāng)受到壓力作用時,一對橋臂電阻變大,另一對變小,電橋失去平衡。若對電橋加一恒定電流(電壓),便輸出對應(yīng)于所加壓力的電壓信號,從而達(dá)到測量氣體壓力的目的。
由于這種傳感器的感受、**和檢測三部分同由一個元件實現(xiàn),沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),所以不重復(fù)性和遲滯等誤差極小。同時由于硅單晶本身剛度很大,形變很小,保證了良好的線性度,因此綜合精度**。
本儀器配套的YZ、YZG系采用美國**的OEM管芯組裝。YZ型壓阻規(guī)管系普通型絕壓管芯,YZG型壓阻規(guī)管系帶隔離膜封裝的絕壓管芯,用于有腐蝕性氣體及要求比較高的場合。
本儀器提供了壓阻真空規(guī)管工作所**須的恒流源,并接收規(guī)管送出的壓力信號。所有的調(diào)零、調(diào)滿度等均由軟件完成,并且用軟件對規(guī)管電流源的微小變化進(jìn)行補償,擴大了規(guī)管的測量范圍。使用**方便。
儀器前面板如圖一所示:
2.2 儀器使用方法:
2.2.1 正常顯示方式:
開啟儀器后,儀器顯示真空度。單位是KPa。按動<>按鈕可改變真空度的單位,相應(yīng)的單位指示燈亮。
按ENT鍵一次,放松后馬上按減量鍵一次(組合鍵1),可使儀器顯示輸出電壓值,單位為mV。再按一次這組鍵,可以使儀器顯示規(guī)管恒流電流值。第三次按這組鍵則返回真空度。
2.2.2 設(shè)置控制觸點動作真空度的方法:
按動ENT鍵一次,馬上按增量鍵(組合鍵2),顯示器左端顯示“1”,表示此后將顯示控制觸點1的動作真空度。數(shù)秒鐘后,顯示器顯示原先設(shè)定的值。**高位作有規(guī)律的閃爍。如果顯示的動作真空度數(shù)量級不正確,則首先應(yīng)調(diào)整數(shù)量級。連續(xù)按增量鍵數(shù)次,**高位由9進(jìn)位時,設(shè)定的動作真空度數(shù)量級加一。重復(fù)這一過程,數(shù)量級不斷增加,直到900kPa.
按減量鍵數(shù)次,當(dāng)**高位由1退位時,設(shè)定的動作真空度數(shù)量級減一,重復(fù)這一過程,數(shù)量級不斷減少,直到0.1Pa數(shù)量級。
數(shù)量級調(diào)整完畢后,**整設(shè)定的動作真空度的各位。顯示器上不斷閃爍的這一位可以改變。按動增量鍵可執(zhí)行加一操作,按動減量鍵可執(zhí)行減一操作。按動移位鍵可以使下一位閃爍。修改完畢后**要按ENT鍵一次,把它送入儀器內(nèi)部保存。
按ENT鍵后,設(shè)定的控制觸點1的動作真空度將保存在儀器內(nèi)部。
這時顯示器左端顯示“2”,表示此后將顯示控制觸點2的動作真空度??梢园凑照{(diào)整控制觸點1的動作真空度的方法進(jìn)行調(diào)整。
2.2.2 校準(zhǔn)規(guī)管高真空時的零點的方法:
當(dāng)規(guī)管封接于高真空環(huán)境時,儀器顯示不為零,或者儀器的顯示發(fā)生閃爍,說明儀器需要校零。
當(dāng)規(guī)管封接于高真空環(huán)境時,若真空度優(yōu)于1Pa,可以校準(zhǔn)規(guī)管的零點。方法是:開機穩(wěn)定半小時后,按下ENT鍵一次,松開后再按移位鍵一次(組合鍵3)。然后再按" 組合鍵3" 二次,儀器顯示“CAL0”。等待數(shù)秒后,“CAL0”開始閃爍,此時按下“ENT”鍵,儀器自動校準(zhǔn)零點。如不需校準(zhǔn)零點或錯誤進(jìn)入了校零模式,操作者可不用按**鍵,“CAL0”閃爍數(shù)秒后,會自動回到測量顯示模式。
2.2.3 校準(zhǔn)規(guī)管滿度的方法:
一般不需校準(zhǔn)儀器的滿度。儀器偏離滿度過多或**換新規(guī)管后,可校準(zhǔn)儀器滿度。當(dāng)系統(tǒng)暴露**時(對于YZ—2、YZG—2壓阻規(guī)管),或者規(guī)管處于35Kpa 的真空度中(對于YZ—3、YZG—3壓阻規(guī)管),確認(rèn)規(guī)管聯(lián)接無誤。開機穩(wěn)定半小時后,可按下ENT鍵+移位鍵(組合鍵3)三次,儀器進(jìn)入校零模式。在儀器顯示閃爍以前,按下除“ENT”鍵外的任一鍵,儀器顯示“FILL”,幾秒后儀器進(jìn)入設(shè)定滿度狀態(tài)。設(shè)定操作方法同2.2.2。設(shè)定完后,按下“ENT”鍵。儀器完成滿度校準(zhǔn)。顯示為101kPa,或者35KPa。**須注意,對儀器設(shè)定和校準(zhǔn)滿度時,**須確認(rèn)規(guī)管處于該規(guī)管的滿度壓強下,否則將嚴(yán)重影響儀器的測量精度。
3. 儀器電源及規(guī)管聯(lián)接
儀器電纜與機箱聯(lián)接采用接線柱聯(lián)接。儀器后面板接線柱排列如圖二所示:
一般情況下,規(guī)管應(yīng)垂直或水平安裝。安裝后一般不要轉(zhuǎn)動或變動規(guī)管位置。
6. 維護、儲存和運輸
6.1 本設(shè)備在使用過程中**須正確操作和維護,并防止灰塵與潮氣侵入。
6.2 在長期使用后應(yīng)作內(nèi)部檢查,**內(nèi)部所積塵污。
6.3 設(shè)備應(yīng)存放在環(huán)境溫度為+10~35 ℃,相對濕度<80%和無腐蝕性氣體及油蒸汽, 強烈電磁場與機械振動,并具有良好通風(fēng)的室內(nèi)。
6.4 運輸時設(shè)備應(yīng)裝在具有防潮袋的牢固運輸箱內(nèi),包裝好的設(shè)備與箱壁間應(yīng)放有清潔干燥的防振物,運輸箱外應(yīng)標(biāo)有"向上","小心輕放"等標(biāo)記。