特點(diǎn)
◆配置功能強(qiáng)大的FRIMS軟件。
◆花崗石特制的立柱和底座,堅(jiān)硬變形。
◆穩(wěn)定高效的閉環(huán)控制,高速度,高精度批量檢測(cè)。
◆核心部件。
◆優(yōu)良的裝配工藝。
◆選配激光或接觸式探針系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)3D測(cè)量。
機(jī)臺(tái)型號(hào) | FVG5040 | FVG7060 | FVG9070 | FVG1210 | FVG1512 | |||
機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu) | 高精密花崗石承載式龍門結(jié)構(gòu) | |||||||
測(cè)量行程X/Y/Z(mm) | 400*500*200 | 600*700*200 | 700*900*200 | 1000*1200*200 | 1200*1500*200 | |||
機(jī)臺(tái)承重 | 100kg | |||||||
外觀尺寸LXYZ (mm) | 1550*1100*1580 | 1750*1340*1590 | 2100*1580*1590 | 2500*1850*1590 | 2700*2000*1590 | |||
機(jī)臺(tái)重量 | 2100kg | 2300kg | 2600kg | 2900kg | 3200kg | |||
運(yùn)動(dòng)控制 | 全閉環(huán)4軸自動(dòng)控制 |
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測(cè)量精度 | X/Y軸 | E1=(2.5+L/200)μm | ||||||
Z軸 | E2=(5+L/200)μm | |||||||
速度 | X/Y軸 | 500MM/S | ||||||
Z軸 | 300MM/S | |||||||
光源控制 | 表面光 | 五環(huán)八區(qū)四十項(xiàng)程控式LED冷光源 | ||||||
輪廓光 | 程控式LED平行冷光源、256級(jí)可調(diào) | |||||||
光學(xué)系統(tǒng) | 美國(guó)NAVITAR自動(dòng)變焦鏡頭模組 | |||||||
放大倍率 | 光學(xué)放大0.7-4.5X影像放大22-145X | |||||||
影像系統(tǒng) | 高靈敏度高分辨率1/2’’CCD黑白/彩色 | |||||||
運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) | 承載式超精密級(jí)THK直線導(dǎo)軌 | |||||||
運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng) | YASKAWA AC伺服馬達(dá) | |||||||
光柵尺 | 高分辨率光柵尺,分辨率:0.5μm | |||||||
工作環(huán)境 | 溫度 | 20±2℃ | ||||||
濕度 | 35%-65% | |||||||
震動(dòng) | 震動(dòng)<0.002g,低于15Hz | |||||||
電源 | 220V/50Hz/10A |