氣體質量流量計M***030A 產品亮點： |
-類 型：MFM氣體質量流量計 -控制范圍：10sccm ～ 30slpm (sccm:標準毫升/分 slpm:標準升/分) -準度等級: ±1% F.S -耐 壓：≤90bar -標準接口：0-5VDC，4-20mA可選 -響應時間：≤2sec -使用范圍：2~99% for max range -供電電源：+15~+28Vdc, 350Ma -漏 率：1×10-9atm·cc/sec -氣路連接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR |
-適用介質：所有氣體（含腐蝕性氣體和有毒氣體） |
-無需溫度、壓力補償
氣體質量流量計M***030A 性能指標：
產品型號 | M***030V | M***030A |
流量范圍 (N2) | 10sccm ～ 30slpm | 10sccm ～ 30slpm |
響應時間 | ≤2秒 | ≤2秒 |
準確度 | ≤±1% 滿量程 | ≤±1% 滿量程 |
重復精度 | ≤±0.25% 滿量程 | ≤±0.25% 滿量程 |
輸出輸入信號 | 0~5Vdc | 0~5Vdc或4~20毫安 |
供電 | +15~+28Vdc，350毫安 | +15~+28Vdc，350毫安 |
耐壓 | ≤90 bar | ≤90 bar |
工作環(huán)境溫度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
應用領域：
－分析儀器 －干刻（RIE/DRIE） －燃料電池
－生物技術 －氣相色譜分析 －等離子刻蝕
－激光焊機 －混氣配氣系統(tǒng) －微反應裝置
－真空鍍膜 －過程自動化 －石化工業(yè)
