Setra西特真空電容式壓力計(jì)Model 730是一款適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品,其采用采用單膜片可變電容感應(yīng)元件,適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。Setra西特真空電容式壓力計(jì)Model 730具有讀數(shù)精度和分辨率高、動(dòng)態(tài)范圍寬的特點(diǎn),使之成為關(guān)鍵制造過(guò)程中的理想選擇。Inconel® 設(shè)計(jì)保證通用性,所有接液部件均采用I n c o n e l T M 材料, 因此對(duì)半導(dǎo)體和工業(yè)真空過(guò)程中的腐蝕性介質(zhì)具有的耐受性。I n c o n e l T M 材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu), 確保7 3 0 型在這類應(yīng)用中的長(zhǎng)使用壽命。
Setra西特真空電容式壓力計(jì)Model 730內(nèi)置膜片可在使用點(diǎn)直接測(cè)量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計(jì)不同,7 3 0 型測(cè)量直接壓力, 不受被測(cè)混合氣的影響,這使其精度優(yōu)于間接測(cè)量型壓力計(jì)且所有壓力量程可直接承受耐壓45PSIA,其特性:·高精度:±0.5% 讀數(shù)·張緊的膜片保證優(yōu)異的性能·工作溫度補(bǔ)償范圍寬·回路噪聲低,響應(yīng)快·不易受環(huán)境條件變化影響·出色的抗過(guò)壓設(shè)計(jì)·符合CE 和RoHS 規(guī)范等。
Setra西特真空電容式壓力計(jì)Model 730性能參數(shù)和物理參數(shù)如下:
精度: ±0.5%讀數(shù) 、±0.25%讀數(shù)(可選) 響應(yīng)時(shí)間:<20 ms 分辨率無(wú)限,僅受輸出噪聲的限制(≤0.005%FS)
補(bǔ)償范圍:0~+50℃ 零點(diǎn)漂移:0.25% FS/50℃ 長(zhǎng)期穩(wěn)定性: 0.5% FS/1年,不受環(huán)境條件影響
工作溫度:0至+80℃ 量程漂移1.35%讀數(shù)/50℃
激勵(lì)/輸出: 12-30 VDC/0-10 VDC 9-30 VDC/0-5 VDC
電流消耗:<10 mA(*大值) 輸出負(fù)載:>10 kΩ 輸出阻抗<1 Ω
壓力介質(zhì):量程漂移1.35%讀數(shù)/50℃ 環(huán)境參數(shù)與Inconel®兼容的氣體或液體。Inconel®接液材料僅適用于0.5"管道選項(xiàng)。其他接頭選項(xiàng)會(huì)添加不銹鋼。
殼體:不銹鋼 重量(近似值) <250 g