儀器名稱： | 臺階儀，膜厚儀，探針接觸式輪廓儀，3D輪廓儀 | 型號 | 美國KLA-Tencor D-120 |
檢測項目： | 1、薄膜、涂層厚度測量； 2、表面粗糙度+三維形貌； 3、表面粗糙度測量； 4、三坐標測量+三維形貌測量； 5、2D薄膜應(yīng)力測量； 6、2D彎曲度和形狀測量。 | ||
儀器性能： | 掃描長度：≤30mm； 垂直測量范圍（臺階高度）：≤1.9mm； 掃描速度：2μm/s到200μm/s； 垂直范圍分辨率：2.5μm臺階高度內(nèi)測量分辨率0.1nm； 重復(fù)精度：0.6nm或0.1%臺階高度 樣品厚度：≤20mm； | ||
應(yīng)用范圍： | 可用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能、薄膜、材料等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)納米級別表面二維形貌測量。垂直分辨率1A；垂直范圍0-1mm；單次掃描長度范圍小于55mm。 | ||
制樣要求： | 長寬小于30mm，厚度小于20mm， | ||
PS：送樣請附帶“委托測試單”。
測試提示：
1.可開正規(guī)測試發(fā)票，附帶測試清單。
2.有腐蝕性，毒性，或其他有危害性等特殊樣品要事先告知測試人員，測試人員也要告知樣品方哪些樣品不能測或會對儀器產(chǎn)生損傷，測試后會對樣品產(chǎn)生哪些變化；
3.客戶需提供詳細的樣品資料，包括元素，主要成分和詳細測試參數(shù)及條件。和測試人員充分討論，商定最終測試條件；
4.測試人員與顧客通過或郵件溝通，出現(xiàn)測試糾紛，郵件或記錄將作為重要的仲裁依據(jù)；請加和技術(shù)人員交流：。
5.杜絕測試、解析和合成違反國家相關(guān)法律法規(guī)的樣品，一經(jīng)發(fā)現(xiàn)將追究其法律責(zé)任。
