一、概述
SCA61T系列高精度單軸傾角傳感器是基于3D MEMS的單軸傾角計，它提供了水平測量儀表級別的性能。SCA61T系列高精度單軸傾角傳感器低溫度依賴性、高分辨率、低噪聲和健全的傳感元件設計讓其成為水平測量儀器的。
二、產(chǎn)品特點
1、在工作全溫區(qū)內(nèi)長期保持高穩(wěn)定性。
2、ug級別的分辨率。
3、能遭受超過20，000g的沖擊。
4、傳感器元件做了機械阻尼設計，可忽略掉高頻振動的影響。
5、多種方式的自我診斷設計，方便工程調(diào)試設計。
6、使用標準的雙排針塑料表貼封裝。
7、不需要編程，不需要進行再校正。
8、內(nèi)部增加溫度補償傳感器。
9、僅需一個5V直流供電。
10、同時具有模擬和數(shù)字輸出（SPI）接口。
11、單晶硅材料- 杰出的防沖擊性能。
12、不會有柔性變形- 在機械沖擊過程中不會有參數(shù)偏移。
13、內(nèi)部氣體阻尼- 機械振動辨別力。
14、經(jīng)過微加工的質量塊- 低于15mg/Hz噪聲的ug級分辨率。
15、相對稱的電容感應傳感器元件—的零點依稀和穩(wěn)定的靈敏感性度。
三、技術參數(shù)
| 參數(shù)名稱 | 條件 | SCA61T-FAHH1G | SCA61T-FA1H1G | 單位 |
|---|---|---|---|---|
| VDD | 4.75～5.25 | 4.75～5.25 | V | |
| 工作電流 | VDD=5V;無負載 | 2．5～4 | 2.5～4 | mA |
| 工作溫度 | -40～125 | -40～125 | ℃ | |
| 測量量程 | 常規(guī) | ±30 | ±90 | ° |
| 頻率響應 | -3dB | 8-28 | 8-28 | Hz |
| 零點輸出（0g） | 環(huán)比輸出 | VDD/2 | VDD/2 | V |
| 零點校正誤差 | ±0.11 | ±0.23 | ° | |
| 零點數(shù)字輸出 | 1024 | 1024 | LSB | |
| 靈敏度 | 4 | 2 | V/g | |
| 靈敏度校正誤差 | ±0.5 | ±0.5 | % | |
| 數(shù)字靈敏度 | 1638 | 819 | LSB/g | |
| 零點溫漂 | -25～85℃ | ±0.008 | ±0.008 | °/℃ |
| 靈敏度溫漂 | -25～85℃ | ±0.014 | ±0.014 | %/℃ |
| 線性度 | ±0.11 | ±0.57 | ° | |
| 數(shù)字分辨率 | 11 | 11 | Bits | |
| 輸出噪聲密度 | 0～100Hz | 0.0008 | 0.0008 | °/√Hz |
| 模擬分辨率 | 帶寬10Hz | 0．0025 | 0．0025 | ° |
| 環(huán)比誤差 | VDD=4.75～5.25V | ±1 | ±1 | % |
| 交叉靈敏度 | Max. | 4 | 4 | % |
| 長期穩(wěn)定性 | <0.014 | <0.014 | ° |
