| 性能指標 | 請參閱右側性能指標表 |
| 操作范圍 | 請參閱右側性能指標表 |
| 靈敏度（3Q） | 請參閱右側性能指標 |
| 精度（取大值） | ±4% or 1/2 of LDL |
| 響應速度 | <1分鐘 to=""> |
| 環(huán)境要求 | 10℃-40℃，30%-80%RH（non-cond) |
| 存儲溫度 | -10℃--50℃ |
| 內部管路材料 | 316L不銹鋼（選配：哈氏合金Hastelloy）10Ra表面光潔度 |
| 氣體接口 | 1/4“ male VCR入口和出口 |
| 泄露測試 | 1×10-9 mbar 1/sec |
| 入口氣體壓力 | 10-125psig(1.7-9.6bar) |
| 流量 | 0.05--1.8 slpm |
| 樣品氣體 | 惰性氣體、有毒氣體、活潑或腐蝕性氣體 |
| 氣體溫度 | 小于60℃ |
| 尺寸 | 高×寬×深（英寸mm） |
| 傳感器標準尺寸 | 8.75×8.5×23.6（222×216×599） |
| 外殼尺寸 | 8.73×19×23.6（222×483×599） |
| 儀器重量 | 28 Ibs (12.7kg) |
| 報警指示 | 2個程序設定點，1個系統(tǒng)失效報警繼電器 |
| 電源要求 | 90-240VAC，50/60HZ |
| 電源功率 | 40Watts |
| 信號輸出 | 隔離4-20mA輸出 |
| 操作界面 | 5.6“LCD/觸控屏 |
| 網絡 | 10/100BaseT 以太網口，802.11g Wireless(選配)，RS-232 |
| 性能指標 | 量程 | 測量下限 | 靈敏度 |
| 氮氣 | 0-20ppm | 1.2ppb | 0.4ppb |
| 氦氣 | 0-4ppm | 0.25ppb | 0.1ppb |
| 氬氣 | 0-9ppm | 0.6ppb | 0.2ppb |
| 氫氣 | 0-16ppm | 1ppb | 0.4ppb |
| 氧氣 | 0-12ppm | 0.7ppb | 0.25ppb |
| 壓縮空氣 | 0-18ppm | 1.2ppb | 0.4ppb |
| 一氧化碳 | 0-24ppm | 1.5ppb | 0.5ppb |
| 二氧化碳 | 0-25ppm | 2.0ppb | 0.7ppb |
| 氖氣 | 0-5ppm | 0.3ppb | 0.1ppb |
| 氪氣 | 0-11ppm | 0.6ppb | 0.2ppb |
| 氙氣 | 0-13ppm | 0.8ppb | 0.3ppb |
| 氯氣 | 0-25ppm | 1.5ppb | 0.5ppb |
| 0-50ppm | 3ppb | 1.0ppb |
| 溴化氫 | 0-100ppm | 12ppb | 4ppb |
| 六氟化硫 | 0-15ppm | 1.0ppb | 0.4ppb |
| 三氟化氮 | 0-20ppm | 2.5ppb | 0.9ppb |
| 四氟化碳 | 0-15ppm | 4ppb | 1.2ppb |
| 六氟乙烷 | 0-15ppm | 3ppb | 1.0ppb |
| 全氟丙烷 | 0-20ppm | 3ppb | 1.0ppb |
| 六氟丁二烯 | 0-25ppm | 150ppb | 50ppb |
| 八氟環(huán)丁烷 | 0-20ppm | 3ppb | 1.0ppb |
