2路質(zhì)量流量計(jì)500w等離子清洗機(jī)
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來(lái)愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng)，受電場(chǎng)作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性
2路質(zhì)量流量計(jì)500w等離子清洗機(jī)KT-Z5KQX
供電電源 | AC220V（AC110V可選) |
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 500W可調(diào) |
射頻頻率 | 40kHz |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤30Pa |
腔體容積 | 5L(內(nèi)徑 152mmX 深度 280mm) |
載物規(guī)格 | 125mmX260mm |
氣體流量 | 0—50ml/min（其他量程可選） |
氣體路數(shù) | 2 路質(zhì)量流量計(jì)+精密流量控制閥 |
過(guò)程控制 | 自動(dòng)控制 |
清洗時(shí)間 | 手動(dòng)開(kāi)關(guān) |
開(kāi)蓋方式 | 鉸鏈側(cè)開(kāi)式法蘭 |
真空室溫度 | 小于65°C |
外形尺寸 | 450x450x250mm |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
標(biāo)配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2個(gè)，不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè)，電源線一根，說(shuō)明書一本，機(jī)械泵一臺(tái) |
