商品描述：
充氮充氦氟油檢漏平臺(tái)是對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行密封性、可靠性粗檢漏的專用設(shè)備。這是密封電子器件背壓法氦質(zhì)譜檢漏的配套設(shè)備，由兩部分組成。一部分是被檢密封器件壓氮。二部分是對(duì)被檢密封器件壓氟油。
這套設(shè)備有手動(dòng)和PLC自動(dòng)控制兩種類型；有液面高度自動(dòng)控制和過程狀態(tài)顯示‘壓氦和壓氟油分開，各自獨(dú)立進(jìn)行，靈活且互不干擾；關(guān)鍵零部件，如閥門、管道、法蘭、壓力罐和儲(chǔ)油罐等，均用不銹鋼制造。濾油罐可濾除5μm的固體顆粒，確保氟油清潔。
該設(shè)備與氦質(zhì)譜檢漏儀配合，能夠完成GJB36A-96、GJB548-96A和GJB128A-97標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的對(duì)點(diǎn)子和半導(dǎo)體器件的檢漏。
主要技術(shù)指標(biāo)：
1.壓力表： 數(shù)字式
2.真空度： ≤50Pa
3.充氦壓力： 0.2～1.0Mpa，可調(diào)
4.指示液溫度（FC43）溫度：（125±5）℃
5.保壓時(shí)間 ：1～10h，可調(diào)
