PSM-1000工業(yè)顯微鏡采用全新的一體化設(shè)計(jì)，具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量，造型新穎，使用方便，并具有豐富的擴(kuò)展功能，可以廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
◆
描述
◆ 人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°- 30°轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。
◆ 管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡(jiǎn)單、方便。其中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個(gè)波長(zhǎng)的激光器時(shí)，可以得到更好的激光透過(guò)率。
◆ 光路切換拉桿
通過(guò)推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時(shí)從攝像接口上入射的激光99%的進(jìn)入光路，提高了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
◆ 偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進(jìn)行偏光觀察。
◆ 調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)大可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
◆ 轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。
◆ 物鏡
PSM-1000采用長(zhǎng)工作距離的無(wú)應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本。
◆ 數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。
◆ 照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長(zhǎng)達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來(lái)更自由的操作空間。
◆ 探測(cè)工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測(cè)工作站上，進(jìn)行硅片的測(cè)試。
◆ 激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷(xiāo)，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補(bǔ)償墊片。無(wú)需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。
注:在安裝和使用激光器之前，請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊(cè)。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問(wèn)題，麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé)。
目鏡 | WF10X/24，視場(chǎng)直徑 24mm，獨(dú)立矯正色差 |
雙目頭 | 瞳距調(diào)節(jié)范圍55~75mm |
上主體 | 分光比為50:50或0:100 |
管鏡 | 1X NUV/VIS; 1X NIR/VIS; 2X VIS |
轉(zhuǎn)換器 | 4孔，中心可調(diào) |
物鏡 | 長(zhǎng)工作距離或超長(zhǎng)工作距離; 無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)復(fù)消色差; 齊焦距離: 95mm; 連接螺紋: M26X1/36"(0.706); 齊焦機(jī)構(gòu)(可選) |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 調(diào)焦行程: 52mm; 粗動(dòng)手輪4mm/轉(zhuǎn);微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn); 微動(dòng)手輪 1μm/格; 大承載重量: 45磅(20.4Kg) |
照明系統(tǒng) | 同軸垂直照明，可變孔徑光欄( 0.8~ 6) |
冷光源 | 輸入電壓: 110V或220V; 150W/21V; 鹵素?zé)暨b控器(可選) |
移動(dòng)載物臺(tái) | XY行程: 75X50mm |
人機(jī)工程頭部 | 轉(zhuǎn)動(dòng)范圍3 -30 |
PSM-1000配置表
| 名稱(chēng) | 物料編號(hào) | PSM-1000 | PSM-1000S | PSM-1000E | 數(shù)量 | |
| 目鏡WF10X/24(含護(hù)眼罩） | SG02S0173 | ● | ● | ● | 2只 | |
| 目鏡WF15X/16 | SG02T0316 | ○ | ○ | ○ | 2只 | |
| 目鏡WF20X/12 | SG02T0317 | ○ | ○ | ○ | 2只 | |
| 鉸鏈?zhǔn)诫p目 | SP100243 | ● | ● | / | 1 | |
| 鉸鏈?zhǔn)诫p目 | SP100243A | / | / | ● | 1 | |
| 上主體組 | SW0199BD | ● | ● | / | 1 | |
| 變角度上主體組 | AP9977730 | / | / | ● | 1 | |
| 下主體組 | SW0199BE | ● | / | ● | 1 | |
| 下主體組(帶3個(gè)偏光插孔) | SW0199Y1 | / | ● | / | 1 | |
| 四孔轉(zhuǎn)換器組 | SW011715A | ● | ● | ● | 1 | |
| 調(diào)焦組 | SW0199BG | ● | ● | ● | 1 | |
| 底座組 | SW010282A | ● | ● | ● | 1 | |
| 工業(yè)顯微鏡移動(dòng)式載物臺(tái) | SW010338P | ● | ● | ● | 1 | |
| 長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡* | ELWD2X | SG01S102C3 | ○ | ○ | ○ | 1 |
| ELWD5X | SG01S162C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD10X | SG01S022C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD20X | SG01S032C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD50X | SG01S122C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD100X | SG01S062C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 超長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡* | ULWD50X | SG01S122C5 | ○ | ○ | ○ | 1 |
| ULWD100X | SG01S062C5 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 可調(diào)焦長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡* | ELWD2X | SG01S102C4 | ○ | ○ | ○ | 1 |
| ELWD5X | SG01S162C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD10X | SG01S022C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD20X | SG01S032C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD50X | SG01S122C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD100X | SG01S062C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 可調(diào)焦超長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡* | ULWD50X | SG01S122C7 | ○ | ○ | ○ | 1 |
| ULWD100X | SG01S062C7 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 0.5X攝像接筒組(接2/3"CCD) | SP100363 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 0.4X攝像接筒組(接1/2"CCD) | SP100365B | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 1X攝像接筒組(接2/3"CCD) | SP100386 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| MOTICAM480/1000/2000/3000/5000及配套軟件 | ○ | ○ | ○ | 1 | ||
| 檢偏插片 | SW01991Z | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 起偏插片 | SW01992B | ○ | / | ○ | 1 | |
| 起偏插片(可旋轉(zhuǎn)) | SW01992BA | / | ○ | / | 1 | |
| 中間插片(可旋轉(zhuǎn)) | SW01993H | / | ○ | / | 1 | |
| 調(diào)中鑰匙 | SW0199BH | ● | ● | ● | 2 | |
| 墊圈(安裝激光濾色片時(shí)使用) | SW018880 | ● | ● | ● | 2 | |
| 十字槽盤(pán)頭螺釘 M3X10(安裝激光濾色片時(shí)使用) | SS0120594 | ● | ● | ● | 3 | |
| 轉(zhuǎn)接環(huán)(數(shù)量根據(jù)訂單) | SW011840 | ○ | ○ | ○ | 1~4 | |
| 使用手冊(cè)(中文，PSM1000機(jī)) | SP010980 | ● | ● | ● | 1 | |
| 保修卡 | SP160004 | ● | ● | ● | 1 | |
| 物鏡顏色標(biāo)貼(含灰、紅、黃、綠、藍(lán)、白) | ST7033 | ● | ● | ● | 1套 | |
| 合格證 | SP150001 | ● | ● | ● | 1 | |
| 工業(yè)顯微鏡光纖(輸出端為直頭) | SP990073A | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 工業(yè)顯微鏡光纖(輸出端為彎頭) | SP990073B | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| MITUTOYO光纖接頭 (MITUTOYO型光纖) | SP99008A | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| MLC-150C冷光源 | SP120070 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 注：帶" * "號(hào)的為外購(gòu)件， "●"表示標(biāo)配，"○"表示選配，PSM-1000E暫不供貨。 | ||||||
