商品詳情
耐溫150℃,*大流量1050SLM,
概要
SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀場/厚禮博品牌的特殊產(chǎn)品, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實現(xiàn)超潔凈狀況下百萬分之上等別的超小流量的分析與控制,能夠滿足復雜多變的半導體制程需求。 而HORIBA集團也為可以給客戶提供全系列的產(chǎn)品而感到驕傲。特征
· 適用于高溫:可滿足150℃烘焙· 具備數(shù)字式流量計的高精度性能-高控制精度:±1.0% 設定流量.
· 超快速響應
· 超潔凈處理
· 滿足RoHS 環(huán)境標準
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質量流量控制器。- 適用于高溫:可滿足150℃烘焙
- 產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號
- 超清潔類型:接氣部全不銹鋼構造
- *適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
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