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WD4000晶圓幾何形貌測(cè)量系統(tǒng)

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  • 型號(hào)
  • 品牌
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  • 更新時(shí)間2023-05-20
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限6
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量84
  • 人氣值1729
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  深圳市中圖儀器股份有限公司是*,致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

  中圖儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),現(xiàn)有員工200余人,集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)、歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐、專業(yè)覆蓋面廣,專項(xiàng)技術(shù)能力強(qiáng),具有多項(xiàng)技術(shù)和軟件知識(shí)產(chǎn)權(quán)。在微納米運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測(cè)量三維重建、顯微測(cè)量3D形貌分析、大尺寸三維空間測(cè)量、精密傳感測(cè)頭、光柵導(dǎo)軌測(cè)控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了*的設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢(shì),具備了從納米到百米為用戶提供專業(yè)的精密測(cè)量解決方案的能力。

  中圖儀器在深圳市南山區(qū)智園科技園擁有現(xiàn)代化的辦公場(chǎng)地,在深圳市寶安區(qū)創(chuàng)新新世界產(chǎn)業(yè)園擁有儀器設(shè)備精密加工、裝配檢測(cè)的專業(yè)生產(chǎn)制造基地,按照ISO9001、6S等標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn),為客戶提供*的產(chǎn)品。

  中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍及三十多個(gè)省、市、自治區(qū),海外市場(chǎng)快速成長(zhǎng),營(yíng)銷網(wǎng)絡(luò)日逐完善。

  中圖儀器經(jīng)過(guò)十多年在幾何量測(cè)量領(lǐng)域的潛心研究,設(shè)計(jì)制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測(cè)長(zhǎng)機(jī)、SJ5700系列輪廓測(cè)量?jī)x、SJ5200系列螺紋綜合測(cè)量機(jī)、SJ2000系列指示表自動(dòng)檢定儀等眾多測(cè)量、計(jì)量設(shè)備。從納米級(jí)的微觀形貌檢測(cè)到百米級(jí)的大尺寸高精度測(cè)量,為用戶提供專業(yè)的精密測(cè)量解決方案。

  目前,中圖儀器的產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于政府計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)、*、汽車、航空航天、機(jī)械制造、半導(dǎo)體加工、3C電子等行業(yè),部分產(chǎn)品達(dá)到*水平,參與制定了多項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),為中國(guó)儀器在精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步做出了應(yīng)有的貢獻(xiàn)。

  未來(lái),中圖儀器還將專注于精密測(cè)量檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展,自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新,為中國(guó)制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)我們的力量,圖中國(guó)儀器技術(shù)之強(qiáng)大,鑄中國(guó)產(chǎn)業(yè)提升之利器。

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WD4000晶圓幾何形貌測(cè)量系統(tǒng)
WD4000晶圓幾何形貌測(cè)量系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

  WD4000晶圓幾何形貌測(cè)量系統(tǒng)可以在一個(gè)測(cè)量系統(tǒng)中自動(dòng)測(cè)量Wafer厚度、表面粗糙度、微納三維形貌。使用光譜共焦技術(shù)測(cè)量晶圓厚度、TTV、BOW、 WARP等參數(shù),同時(shí)生成Mapping圖;采用白光干涉測(cè)量技術(shù)對(duì)Wafer表面進(jìn)行非接觸式掃描同時(shí)建立表面3D層析圖像,顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖,高效分析表面的2D、3D參數(shù)。
  WD4000晶圓幾何形貌測(cè)量系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于Wafer制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)??蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
 

二、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1、非接觸厚度、三維維納形貌一體測(cè)量

◆ 集成厚度、測(cè)量模組和三維形貌測(cè)量模組,使用一臺(tái)機(jī)器便可完成厚度、TTV、BOW、 WARP及三維形貌的測(cè)量。
 

2、高精度厚度測(cè)量技術(shù)

◆  采用高分辨率光譜共焦對(duì)射技術(shù)對(duì)Wafer進(jìn)行高效掃描。
◆ 帶多點(diǎn)傳感器孔和靜電放電涂層的鋼制真空吸盤(pán), 晶圓規(guī)格可支持至 12寸。
◆ 采用點(diǎn)地圖技術(shù),可編程多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量。
 

3、高精度三維形貌測(cè)量技術(shù)

◆ 采用光學(xué)白光干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法,Z向分辨力可到0.1nm;
◆ 隔振設(shè)計(jì)極大降低地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,獲得的測(cè)量重復(fù)性。
◆ 機(jī)器視覺(jué)技術(shù)檢測(cè)圖像Mark點(diǎn),虛擬夾具擺正樣品,可對(duì)多點(diǎn)形貌進(jìn)行自動(dòng)化連續(xù)測(cè)量。
 

4、大行程高速龍門(mén)結(jié)構(gòu)平臺(tái)

◆ 大行程龍門(mén)結(jié)構(gòu)(400x400 x75mm),移動(dòng)速度500mm/s。
◆ 高精度花崗巖基座和橫梁,整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、可靠。
◆ 關(guān)鍵運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用高精度直線導(dǎo)軌導(dǎo)引、AC伺服直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng),搭配分辨率0.1μm的光柵系
統(tǒng),保證設(shè)備的高精度、高效率。
 

5、操作簡(jiǎn)單、輕松無(wú)憂

◆ 集成XYZ三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測(cè)量前準(zhǔn)備工作。
◆ 雙重防撞設(shè)計(jì),避免誤操作導(dǎo)致的物鏡與待測(cè)物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。
◆ 電動(dòng)物鏡切換讓觀察變得快速和簡(jiǎn)單。
 

三、應(yīng)用場(chǎng)景

無(wú)圖晶圓厚度、翹曲度的測(cè)量

晶圓厚度、翹曲度測(cè)量結(jié)果

  通過(guò)非接觸測(cè)量,將晶圓上下面的三維形貌進(jìn)行重建,強(qiáng)大的測(cè)量分析軟件穩(wěn)定計(jì)算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護(hù)膜或圖案的晶片的完整性。
 

無(wú)圖晶圓粗糙度測(cè)量

多文件分析細(xì)磨片25次測(cè)量數(shù)據(jù)

細(xì)磨片25次測(cè)量數(shù)據(jù)Sa曲線圖

  Wafer減薄工序中粗磨和細(xì)磨后的硅片表面3D圖像,用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測(cè)量數(shù)值的穩(wěn)定性來(lái)反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強(qiáng)噪聲環(huán)境中測(cè)量的減薄硅片,細(xì)磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次測(cè)量數(shù)據(jù)計(jì)算重復(fù)性為0.046987nm,測(cè)量穩(wěn)定性良好。
 
 

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