德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525 系列 – 非接觸式薄層電阻、金屬層厚度、電阻率和電各向異性映射設備,臺式設備允許根據(jù)其設置對薄層電阻、金屬厚度或光學透明度進行準確成像。
德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀產(chǎn)品簡介:
EddyCus®TF映射2525個 系列高達樣本自動圖像特征,以非接觸模式250×250平方毫米(10×10英寸)。
在手動樣品定位時,設備會自動測量并顯示整個樣品區(qū)域的特性分布。
測量設置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或每個樣本超過 50,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。
由此產(chǎn)生的映射提供了對透明和非透明層或晶片和金屬板的均勻性和質量的真實洞察。
臺式設備允許根據(jù)其設置對薄層電阻、金屬厚度或光學透明度進行準確成像。
德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀可選型號:
該設備平臺可用于不同的傳感器配置,包括用于電氣表征的渦流傳感器或用于光學表征的傳感器。測量配置的變體涉及以下選項。
. 薄層電阻成像 – TF 圖 2525SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]
. 金屬厚度成像 - TF map 2525MT [nm, µm, mm, mil]
. 電阻率和電導率成像 – TF 圖 2525RM [mOhm*cm, MS/m]
. 電各向異性成像 – TF 圖 2525a [MD/TD]
. 濕涂層厚度和殘留水分成像 - TF map 2525HF
德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀產(chǎn)品特點:
技術:非接觸渦流
通過多點映射成像
薄層均勻度控制
質量控制、輸入和輸出控制
定位區(qū)域:300 mm x 270 mm
取樣面積:250 x 250 mm(可擴展至280 x 280 mm)
推薦的樣品尺寸:1 英寸至 10 英寸或 25 至 250 毫米
測量:
薄層電阻:0.001 到 100 Ohm/sq(Ohm per square, Ohm/sq, OPS)
金屬層厚度:1 nm 至 2 mm(nm、µm、mm、mil)
各向異性:0.33 至 3 (MT/TD)
電阻率/電導率:(mOhm*cm, MS/m, %IACS)
非接觸
快速準確的測量
導電薄膜的高分辨率映射
對zui大 250 x 250 毫米(10 x 10 英寸)的基板進行成像
缺陷檢測和涂層分析
甚至隱藏和封裝的導電層的表征
各種軟件集成分析功能(例如薄層電阻分布、線掃描、單點分析)
測量數(shù)據(jù)保存和導出功能;
德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀軟件和設備控制:
. 輕松設置測量
. 實時數(shù)據(jù)收集和分析
. 掃描和自動點測量模式,包括。測量近邊緣
. 眾多軟件集成分析功能(直方圖分析、標準偏差、線條輪廓、面積分析等)
. 用于系統(tǒng)文檔的用戶友好 PDF 報告(示例報告)
. 數(shù)據(jù)導出(如txt)
. 加載和重新分析數(shù)據(jù)集;
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