此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)主要用于TaC、HfC等物料及其復合碳化物等超高熔點涂層化學氣相沉積制備工藝的研究。
產(chǎn)品特點：
1、該系統(tǒng)由高溫沉積室、升華室、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，智能控溫無需要人看守。
2、爐膛采購氧化鋁多晶纖維材料。爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封，密封法蘭上安裝有相關進氣口及出氣口
應用范圍：
廣泛應用于半導體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 定制高溫CVD系統(tǒng) |
| 沉積爐 | |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1500CVD-DZ |
| 爐膛模式 | 開啟式 |
| 爐膛材料 | 氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 | U型硅鉬棒 |
| 極限溫度 | 1600℃高溫區(qū) |
| 工作溫度 | ≤1500℃高溫區(qū) |
| 升溫速率 | ≤10℃/min |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)、雙溫區(qū)、多溫區(qū) |
| 溫區(qū)總長度 | 200、300、400mm |
| 爐管材質(zhì) | 剛玉管 |
| 爐管直徑 | 40、50、60、80、100mm |
| 密封方式 | 定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) 底部法蘭有三個進氣口 方便進氣 底部法蘭加支架 方便工件放在沉積爐低溫區(qū) |
| 控制模式 | 每個溫區(qū)單獨 30段智能PID程序控溫 |
| 溫度曲線 | 多段"時間—溫度曲線"任意可設 |
| 測溫元件 | B型雙鉑銠熱電偶 |
| 供電電源 | 220V/380V 50HZ |
| 供氣系統(tǒng) 集成在控制柜上 | |
| 氣體通道 | 可同時連接多種氣源 |
| 流 量 計 | 浮子流量計 |
| A路量程 | 1L/MIN |
| B路量程 | 1L/MIN |
| C路量程 | 1L/MIN |
| 氣路壓力 | -0.1～0.15 MPa |
| 截止閥 | 不銹鋼材質(zhì) |
| 氣體連接管 | 1/4不銹鋼管 |
| 氣化爐A、B | |
| 溫度 | 700 |
| 工作溫度 | 500 |
| 爐膛尺寸 | 定制 |
| 開門方式 | 上開 |
| 進氣口 | 一個進氣口 |
| 出氣口 | 一個出氣口 |
| 售后服務 | 12個月質(zhì)保（易耗件及人為損壞除外），終身保修 |
1、我公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務（易損件除外），在保修期內(nèi)因設備質(zhì)量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。
