反射膜厚儀/測厚儀/F50系列
自動多點(diǎn)測量成像
Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤，樣品直徑標(biāo)配200mm，可達(dá)450mm。(穩(wěn)定的樣品臺在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)
測繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法，并且不受測量點(diǎn)數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測繪圖案。
不同的F50型號儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。 標(biāo)準(zhǔn)的F50是歡迎的產(chǎn)品。一般較短的波長(如F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
可測樣品膜層：
基本上所有光滑的，非金屬的薄膜都可以測量。
可測樣品包括：
氧化硅 氮化硅 類金剛石 DLC
光刻膠 聚合物 聚亞酰胺
多晶硅 非晶硅 硅
額外的好處：
· 每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種
· 應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）
· 網(wǎng)上的 “手把手” 支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))
· 硬件升級計劃
型號 | 厚度范圍* | 波長范圍 |
F50 | 20nm-70µm | 380-1050nm |
F50-UV | 5nm-40µm | 190-1100nm |
F50-NIR | 100nm-250µm | 950-1700nm |
F50-EXR | 20nm-250µm | 380-1700nm |
F50-UVX | 5nm-250µm | 190-1700nm |
F50-XT | 0.2µm-450µm | 1440-1690nm |
F50-s980 | 4µm-1mm | 960-1000nm |
F50-s1310 | 7µm-2mm | 1280-1340nm |
F50-s1550 | 10µm-3mm | 1520-1580nm |
